진공 시스템 유형

진공 시스템 유형

특정 공정 요구 사항을 충족하고 필요한 특정 진공도를 얻고 측정할 수 있는 시스템을 진공 시스템이라고 합니다.

보다 완벽한 진공 시스템은 진공 챔버, 필요한 진공 펌프 또는 진공 장치, 진공 측정 장치, 연결 도관, 진공 밸브, 트랩, 기타 진공 구성 요소 및 전기 제어 시스템으로 구성됩니다. 그림 5-1 및 5-2는 일반적인 진공 시스템을 보여줍니다.

▲ 그림 5-1 일반적인 진공 시스템 원리 그림 1: 1- 진공 챔버 배출 밸브 2- 이온화 진공 게이지 3- 열전대 진공 게이지 4- 유량 제어 밸브 {{6 }} 고진공 밸브 6- 확산 펌프 7- 가스 저장소 8- 열전대 게이지(확산 펌프 전면 압력 측정) 9- 전면 진공 밸브 10- 압력 센서 {{ 12}} 사전 추출 밸브 12- 스템 진공 펌프 13- 바이패스 밸브 14- 전자 배기 밸브 15- 기계식 진공 펌프

그림 5-2 일반적인 진공 시스템 구성도 2:1 - 진공 챔버 2- 이온화 진공 게이지 3- 열전대 진공 게이지 4- 블리드 밸브 5- 고진공 밸브 6- 콜드 트랩 7- 확산 펌프 8- 전면 진공 밸브 9- 전자기 블리드 밸브 10- 기계식 진공 펌프 11- 프리 블리드 밸브

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