고진공, 초고진공, 극고진공의 누출 감지

고진공, 초고진공, 극고진공의 누출 감지

어떤 진공 장치나 시스템도 절대적인 진공 밀봉을 달성할 수 없으며 이를 수행할 필요도 없습니다. 필요한 작동 압력, 가스 균형 및 진공 용기의 한계 압력이 과도하게 영향을 받지 않도록 누출율이 충분히 낮아야 한다는 것은 논쟁의 여지가 없는 사실입니다. 고진공, 초고진공, 초고진공의 경우 10-7mbar·L/s 미만의 누출률을 감지하는 신뢰할 수 있는 유일한 방법은 헬륨 질량 분석계 누출 감지기를 사용하는 것입니다. 누출 구멍의 등가 직경은 10-12mbar·L/s이며, 이는 헬륨 분자의 직경이기도 하며 감지할 수 있는 최소 누출률입니다. 헬륨과의 이러한 관계는 헬륨이 추적 가스로 사용되고 질량 분석기가 분석/측정에 사용되는 이유 중 하나이며, 이 방법이 가장 정확하고 빠른 누출 감지 방법인 이유 중 하나입니다.

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