- 제품 소개
엘 기술 파라미터
챔버 크기 | Ф2700 × H1670 | 회전 목마 | 2650 * H420mm |
진공 학위 | 극한 진공 : 6 × 10-4Pa ( 가열하지 않고 24 시간 동안 무부하 ) | 무게 | 8000kg, 바닥 무게 > 1000kg / m2 |
누설 률 | 4 × 10 -3 Pa × L / S (헬륨 누출 검사) | 온도 | 상온 ~ 250 ℃에서 온도 균일 성 ± 5 % |
근무 진공 | 6 × 10 -3 Pa ( 자동 프로세스 시동 ) | 전원 공급 장치 | 3 상, 380V , 50Hz , 60-100KW |
저 진공 | 수냉 | 챔버 흐름 > 4000L / H , 펌프 유량 > 1800L / H, 냉동 압축기 > 1600L / H | |
고진공 | 6 분 8 × 10 -3 Pa | 따뜻한 물 | 증발원 1800L / H, 35-60 ℃ |
진공 측정 | 전체 프로세스 모니터링 및 실시간 포인트 수집 | 바닥 공간 | L6 × w5.5 × H3.5m |
신청 | 안경, 반사경, 휴대폰 백보드, 보호 커버, 광통신, 광학 디스플레이 등
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