고전력 펄스 마그네트론 전원 공급 장치

고전력 펄스 마그네트론 스퍼터링 기술 (HIPIMS)의 이점 ◆ 기존의 DC 마그네트론 임펄스 전력은 대상의 열 응력에 의해 제한됩니다. ◆ 대부분의 이온 충돌 에너지는 대상의 열에너지로 직접 전환 될 수 있습니다. ◆ 펄스 마그네트론 전원 ...

제품 소개

고전력 펄스 마그네트론 스퍼터링 기술의 장점 HIPIMS )

◆ 종래의 DC 마그네트론 임펄스 전력은 타겟의 열 응력에 의해 제한된다.

◆ 대부분의 이온 충돌 에너지는 대상의 열 에너지로 직접 변환 될 수 있습니다.

◆ 펄스 마그네트론 전원은 높은 펄스 전력과 낮은 듀티 사이클을 보장합니다.

◆ 펄스 마그네트론 전원은 DC 마그네트론 스퍼터링 전원을 직접 대체 할 수 있습니다.

고전력 펄스 마그네트론 스퍼터링 방전과 DC 마그네트론 스퍼터링 방전의 비교

고출력 펄스 마그네트론의 특징 스퍼터링 방전	마그네트론 스퍼터링 방전의 특징
음극 방전 전압은 500 ~ 2000V, 전류 밀도는 3 ~ 4A / cm ² 입니다.	자기장 강도는 0.01 ~ 0.05 T이며, 일반적인 DC 마그네트론에서는 동작 전압이 300 ~ 700 V입니다. 스퍼터링 압력 (1 ~ 10mTorr).
기판 표면 부근의 전자 밀도 : 10 ¹⁸ ~ 10 ¹⁹ m ^- ³	기판 표면 부근의 전자 밀도 : ¹⁰¹⁵ ~ 10 ¹⁶ m-3
전력 밀도 : 1 ~ 3kW / cm ²	스퍼터링 중에 타겟의 낮은 이온화 비율 (~ 1 %).
주파수 : 100 ~ 1000Hz	불활성 기체 이온은 대다수에있다.
듀티 사이클 : 1 % ~ 10 %	추가 보조 이온화 장비 (RF of 전자 레인지)가 필요합니다.

고전력 펄스 마그네트론 스퍼터링 전원 장치의 특징

◆ 양극 및 음극 방전은 전통적인 마그네트론 스퍼터링의 비정상적인 방전 영역에서 아크 방전 영역으로 들어가는 것을 피하기 위해 고속 스위치로 제어됩니다. 전류 밀도는 1018-1019 / m3이며 이는 기존의 마그네트론 스퍼터링보다 훨씬 높습니다. 또한 이온화율이 80 % ~ 99 %로 매우 높기 때문에 접착력이 뛰어난 다양한 고급 필름을 쉽게 증착 할 수 있습니다.

◆ 고전력 펄스 마그네트론 스퍼터링 전력은 필름의 일관성, 경도, 내마모성 및 접착력 측면에서보다 우수한 필름 특성을 제공합니다.

◆ 높은 임펄스 전력과 낮은 듀티 사이클을 갖춘 고전력 펄스 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치는 원래의 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비를 변경하지 않고 DC 마그네트론 스퍼터링 전원을 직접 대체 할 수 있습니다.

◆ PHP 아크 억제 기술을 통해 사용자는 표면 처리 과정에서 필름의 품질을보다 편리하게 제어 할 수 있습니다. 전압 안정화 및 이상적인 쿠데타 제거 기능으로 전원 공급 장치는 작업 물 표면의 아크를 효과적으로 방지하고 도금 수율, 표면 정밀도 및 도금 피막의 접착력을 크게 향상시킬 수 있습니다.

◆ 고전력 펄스 마그네트론 전원 공급 장치는 첨단 고주파 인버터 스위칭 전원 기술과 고전력 IGBT 전원 모듈을 채택합니다.

◆ 터치 스크린 마이크로 컨트롤러를 사용하여 전원 공급 장치는 고도로 통합되고 강력한 조작이 가능합니다. 전류 및 전압 표시는 매우 명확하고 직관적입니다. 또한 멀티 채널 고속 카운터 기능과 고속 펄스 기능을 지원합니다.

◆ 전원 공급 장치에는 과전류, 과전압 및과 온도에 대한 보호 기능이 있습니다.

◆ 전원 공급 장치는 RS232, RS485, WIFI 등과 같은 디지털 포트를 통해 호스트 컴퓨터와 통신 할 수 있으며 제어 기능이 확장됩니다.

제품 사양

제품 모델	EP50A80H
입력 전원 및 주파수 (V / Hz) 3 상 및 4 선	AC380 + N
입력 전원 및 주파수 (V / Hz) 3 상 및 4 선	60Hz
출력 전류 범위 (A)	0 ~ 500
Constant Voltag 및 Constant Current에 대한 정확도	≤1 %
정격 출력 전압 (DCV)	800
최대 평균 전력 (KW)	40
피크 전력 (KW)	400
듀티 사이클 (%)	<>
무게 (KG)	60
외형 치수 (MM)	575 (D) × 480 (W) × 250 (H)
절연 그레이드	비
생산성 (%)	90
인클로저 보호 클래스	Ip21
작동 모드	정전압, 정전류 및 정전력 모드는 선택 사항입니다.
냉각 모드	수냉
외부 인터페이스	이 시리즈 제품 모두 터치 스크린 마이크로 컨트롤러 채택

고출력 임펄스 마그네트론 스퍼터링 전원 EP50A80H와 다른 제품의 비교

	고출력 충격 마그네트론 스퍼터링
상표	Huttinger	하우저	IKS
모델	Truplasma Highpulse 4000	HIPIMS +	EP50A80H
최대 평균 전력	20KW	20KW	40KW
피크 파워	1MW ~ 8MW	360KW	400KW
전압	1KV, 2KV	800	800
흐름	1KA, 2KA, 4KA	600	500
아크 감지	500ns 미만	800ns 미만	500ns 미만
포장 (B * H * T)	483x635x676	없는	480x268x700