고진공 질량 유량계

소개 질량 유량계 (MFC)는 유량 센서, 유량 분배기 바이 패스 및 인쇄 회로 기판의 세 가지 기본 장치로 구성되어 있으며 온도 변화로 인해 가스 볼륨이 변동하는 것을 방지하기 위해 질량 유량을 정확하게 측정합니다. MFC는 반도체 및 IC 분야에서 널리 응용되고있다.

제품 소개

사양

흐름의 범위	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
정확성	± 1.5 % FS
선형성	± 1 % FS
반복성	± 0.2 % FS
응답 시간	≤4 초
온도 계수	제로 : ≤ ± 0.1 % FS / ℃, 스팬 : ≤ ± 0.2 % FS / ℃
최대 압력	3MPa
작동 온도	5 ℃ ~ 45 ℃
씰링 소재	바이 톤, 네오프렌
설정 / 출력 신호	0V ~ + 5.00V (입력 임피던스> 100K, 출력 전류 ≤3ma)
전원 공급 장치	+ 15V 50mA -15V 50mA
전기적 연결	D 서브 15 핀 암
차압	0. 0.01 MPa
누설 률	1 × 10-8atm · cc / sec He (1 × 10-9Pa · m3 / secHe)
표준 조인트	SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (내부) × 1 호스 커플러, VCR1 / 4", Swagelok 1/4 ", φ6 (내부) × 1 호스 커플러
미디어	모든 가스
에미	CE
무게	0.92kg

소개

질량 유량계 (MFC)는 유량 센서, 유량 분배기 바이 패스 및 인쇄 회로 기판의 세 가지 기본 장치로 구성되어 있으며 온도 변화로 인해 가스 볼륨이 변동하는 것을 방지하기 위해 질량 유량을 정확하게 측정합니다. MFC는 반도체 및 IC 제조, 특수 재료 과학, 화학 산업, 석유 산업, 제약 산업, 환경 보호, 진공 시스템 연구 등의 분야에 널리 응용되고 있습니다.

풍모

◆ 높은 정밀도, 긴 서비스 수명, 우수한 반복성

◆ 빠른 응답, 소프트 스타트, 우수한 신뢰성

◆ 넓은 작동 압력 범위 (고압 또는 진공 상태에서 양호한 작동)

◆ 쉽고 편리한 작동

◆ 자동 제어를 실현하기 위해 필요할 때마다 설치하여 컴퓨터와 연결할 수 있습니다.

일반적인 응용 분야

MFC의 대표적인 응용 분야는 확산, 산화, 에피 택시, CVD, 플라즈마, 에칭, 스퍼터링, 이온 주입과 같은 마이크로 전자 공정 장비와 진공 증착 장비, 광섬유 용융, 미세 반응 장비, 혼합 및 정합 가스 시스템 , 모세관 유동 제어 시스템, 가스 크로마토 그래프 및 기타 분석 장비.

설치 크기