진공도, 단위 및 진공 영역의 구분 특성

Dec 19, 2018|

진공도, 단위 및 진공 영역의 구분 특성


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u 형 압력계로 진공을 측정 한 역사에서 사용 된 진공도를 나타내는 데 압력을 사용하는 것은 그리 적합하지 않습니다.

일반적인 진공 시스템에서 등방성 중성 가스 압력의 정수 물리량은 일반적으로 진공도를 나타 내기 위해 사용됩니다. 따라서, 진공도의 측정은 압력 측정에 이른다. 그러나 유한 컨테이너에서 고정 (무작위 운동), 정상 상태 및 등방성 단일 중성 가스 인 측정 조건에 특별한주의를 기울여야합니다. 이 경우 맥스웰 속도 분포, 코사인 산란 법칙 및 정수압 개념 (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ρ gh)은 객관적 현실과 비교적 일치하며 진공도 측정은 상대적으로 간단하고 쉽습니다.

 

진공도의 정의에 따르면, 진공도는 분자 밀도 n으로 표현하는 것이 좋으며, 진공도를 압력으로 표현하는 것은 모순이 아닙니다. 압력이 측정 될 때, 가스는 일반적으로 평형 상태에 있으며 맥스웰의 속도 분포 법칙을 만족한다. 즉, p = nkT가 참이다. 기체의 온도는 측정시 일정하기 때문에 기체의 압력 p는 분자 밀도 n에 비례한다. 즉, 압력은 분자 밀도의 척도이므로 진공은 압력으로 표현 될 수 있습니다.

 

우주 연구에서 연구 대상은 무한 공간 (1 ~ 10 KMS - 1 또는 그 이상)의 움직임이며 복잡한 비정상적인 통합 환경의 작용 하에서 최대 속도 분포 법칙과 코사인 산란 법은 반드시 원래의 물리적 의미를 잃어 버렸으므로 진공 측정의 압력은 더욱 복잡하고 어렵습니다.

일반적으로 압력에 의해 진공도를 표현하는 데 널리 사용되지만 일반적으로 사용되는 것은 아닙니다. 다음 매개 변수를 사용하여 진공도를 표현할 수도 있습니다.

 

진공도가 매우 높을 때, 즉 분자 밀도가 매우 작 으면 통계적 변동이 매우 분명합니다. 예를 들어, 압력 p = 10-12pa 인 경우 통계적 변동은 10-2의 5 배보다 크며 압력은 그 중요성을 잃어 버렸습니다. 따라서 어떤 경우에는 압력이 다른 양의 상대적 지표 일뿐 입니다.

 

1. Q & A

 

진공 장치?

 

표면상의 가스 분자의 충돌에 의해 정의 된 가스의 압력은 단위 표면적, 즉 단위 면적당 파스칼로받는 힘과 충돌하는 가스 분자의 운동량의 수직 성분의 시간 변화율이다 또는 Pa.

1 pa = 1 Nm - 2

공학에서 때때로 pa의 값이 너무 작 으면 kPa와 MPa가 종종 압력을 표현하는 데 사용됩니다. 물 진공 펌프, 왕복동 진공 펌프 및 직진 기 뿌리 진공 펌프와 같이 때때로 "진공 퍼센트"로 표현되는 저 진공은 종종이 진공 상태로 표현됩니다. 압력이 102 Pa보다 클 때, 진공 퍼센트는 델타입니다.

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여기서 : p0 - 표준 대기압, Pa

 

진공 구역

 

진공도 측정 장치로 진공도를 정량적으로 표현할 수 있습니다. 그러나, 현재 진공 기술과 관련된 압력 범위는 사용을 용이하게하기 위해 20 단계의 크기에 이르렀습니다. 일반적으로 진공도의 일반적인 범위를 대략적으로 지적 할 필요가 있습니다. 대개 정 성적으로 여러 영역으로 대략 나누어집니다 . 진공 상태에서의 가스 분자 운동의 물리적 특성과 진공 펌프 및 진공 게이지의 유효 작동 범위는 영역 분할을 기준으로 고려됩니다.

중국의 진공 지역 분할에 관해서는 진공 기술 용어 (gb3163-1982)는 다음과 같이 규정합니다.

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거친 진공, 저 진공 및 고진공은 용기의 특성 크기 d와 비교 된 가스 분자의 평균 자유 경로에 따라 나뉩니다. 주요 고려 사항은 가스 분자 사이의 충돌 또는 가스 분자와 장치 벽 사이의 충돌이 물리적 현상의 발생에 결정적인 역할을하는지 여부입니다.

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고진공과 초고 진공의 경계는 10-6Pa로 설정됩니다. 주된 이유는 진공 물리적 흡착 메커니즘을 고려하는 것입니다. 압력 p <10-6pa가 명백="" 할="" 때만,="" 추출을위한="" 확산="" 펌프에="" 의해="" 얻어="" 질="" 수="" 있고,="" 압력은="" 바="" 미터에="" 의해=""> 초고 진공과 초고 진공의 경계는 p <10-12 pa="" 일="" 때="" 통계적으로="" 변동="" (5="" *="" 10-2="" 이상)이="" 발생하기="">

 

상기 진공 영역은 압력 범위를 나타내는 영역들로 나누어지며, 그 이유는 압력이 여전히도 단위로 표현되기 때문이다. 그러나, 낮은 진공, 높은 진공, 매우 높은 진공 및 매우 높은 진공에서, 언급 된 압력은 본질적으로 상이하며, 다른 양의 상대적 표시 일 뿐이다.

 

각 지역에서 사용되는 진공, 진공 펌프 및 진공 게이지의 물리적 특성은 표 1에 자세히 나와 있습니다.

 

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진공 기술의 발달로 진공 영역의 분할 또한 변했습니다.

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