화학 증기 증발(CVD)

화학 증기 증발(CVD)은 고온에서 기상 반응을 의미합니다.
예를 들어, 금속 할로겐화물, 유기 금속 화합물, 탄화수소 등의 열분해, 수소 환원 또는 고온에서 혼합 가스 생화학 반응을 일으켜 금속, 산화물, 탄화물 등과 같은 무기 물질을 침전시키는 방법.
이 공정은 주로 고온에서의 기상 반응을 말하며, 내열재료층, 고순도 금속 제조, 반도체 필름 제조 등에 널리 사용된다.

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