진공 게이지의 분류

많은 종류의 진공 게이지가 있습니다. 연구 및 사용의 편의를 위해 합리적인 분류가 매우 중요합니다. 분류 방법은 서로 다릅니다. 다음은 일반적으로 사용되는 두 가지 분류 방법입니다.

1. 진공 게이지의 눈금 방법에 따른 분류

(1) 절대 진공 게이지 : 직접 판독 가스 압력, 압력 응답 (스케일)은 자체 기하학적 크기로 계산하거나 동력계로 결정할 수 있습니다. 절대 진공 게이지는 모든 측정 가스에 대해 정확하며 가스 유형에 독립적입니다. U 튜브 압력 게이지, 압축 진공 게이지 및 열 방출 진공 게이지는 절대 진공 게이지 중 하나입니다.

(2) 상대 진공계 : 압력은 기체 압력에 대한 함수 관계의 양에 의해 결정됩니다. 간단한 계산으로는 보정 할 수 없으며 보정을 수행해야합니다. 상대 진공계는 일반적으로 센서 인 진공 게이지 튜브와 제어 및 표시에 사용되는 측정 장치로 구성됩니다. 측정 값은 가스 종류와 관련이 있습니다. 열전도 진공 게이지 및 이온화 진공 게이지와 같은 많은 종류의 상대 진공 게이지가 있습니다.

2. 진공 게이지의 측정 원리에 따른 분류

진공 게이지 측정의 원리에 따라 직접 측정 진공 게이지와 간접 측정 진공 게이지로 나눌 수 있습니다. 진공 게이지의 직접 측정은 단위 면적의 힘을 직접 측정합니다.

(1) 정적 액체 레벨 진공 게이지. 압력은 U 튜브의 두 끝 사이의 액체 표면 차이로 측정됩니다.

(2) 탄성 요소 진공 게이지. 압력 값은 진공에 연결된 용기 표면의 탄성 변형에 의해 측정됩니다.

압력이 10 ^-1 Pa 일 때, 1cm ² 의 표면에 작용하는 힘은 단지 10 ^-5 N입니다. 그러한 작은 힘을 측정하기는 어렵지만 압력의 변화는 간접적으로 측정 할 수 있습니다. 낮은 압력 하에서 가스의 압력과 관련된 물리량의 변화에 관한 것이다. 아래에 간접 측정 게이지가 있습니다 :

(1) 압축 된 진공 게이지. 원리는 등온 압축에 의한 압력을 증가 시켜서 U 튜브 진공 게이지로 압력을 측정하는 U 튜브를 기본으로 보일 법칙을 적용한 다음, 측정 된 압력을 부피와의 관계 및 압력.

(2) 열전도 진공 게이지. 저압에서 가스 열 전도의 원리는 압력과 관련이 있습니다. 일반적으로 사용되는 저항 진공 게이지와 열전쌍 진공 게이지입니다.

(3) 열 방출 진공계. 가압 중 가스의 열 방출 원리는 압력과 관련이 있습니다.

(4) 이온화 진공 게이지. 압력에 의한 플라즈마 흐름 변화의 원리는 낮은 압력 하에서 하전 된 입자들과의 가스 분자들의 충돌 및 이온화에 의해 얻어진다. 뜨거운 음이온 이온화 게이지, 냉 음극 이온화 게이지 및 방사성 이온화 진공 게이지 등.

(5) 배출관 표시기 . 진공도는 일반적으로 질적 인 측정으로 만 사용될 수있는 배출 가스의 특성과 배출 압력과 관련된 색상에 의해 결정됩니다.

(6) 점성 진공 게이지. 낮은 압력에서 가스와 용기 벽 사이의 운동량 교환은 외부 마찰의 원리입니다. 다이어프램 진공 게이지 및 자기 부상 용 로터 진공 게이지 등.

(7) 압력 진공 게이지. 혼합 가스 분압 측정은 질량 분광법에 의해 수행됩니다. 그리고 사중 극자 질량 분광기, 사이클로트론 질량 분광계 및 고주파 질량 분광기와 같이 일반적으로 사용되는 압력 진공 게이지.