일반적으로 사용되는 저진공 유닛 유형

일반적으로 사용되는 저진공 유닛 유형

그림 5-3는 오일실형 기계식 펌프의 저진공 유닛을 나타내고, 그림 5-4는 화학기상증착에 적합한 오일트랩을 갖춘 오일실형 기계식 펌프의 에어펌프군을 나타냅니다. 장치, 진공 포장, 제약 산업 및 기타 분야.

▲ 그림 5-3 오일 씰 기계식 펌프 저진공 장치: 1- 기계식 펌프 2- 벤트 밸브 3- 열전대 게이지 4- 파이프라인 밸브

▲ 그림 5-4 오일 트랩이 있는 저진공 챔버 장치: 1- 기계식 펌프 2- 블리드 밸브 3- 오일 트랩 4- 열전대 게이지 5- 파이프라인 밸브

▲ 그림 5-5 2단 워터 링 펌프 - 에어 제트 펌프 장치: 1- 워터 링 펌프 2- 체크 밸브 3- 파이프라인 밸브 4- 에어 제트 펌프 { {7}} 공기 진입 밸브 6- 배기 밸브 7- 공기 수분 분리기 8- 배수 포트

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