진공 코팅기의 정확한 운전 절차 및 고장 처리
Jan 17, 2019| 진공 코팅기의 정확한 운전 절차 및 고장 처리
IKS PVD는 코팅기를 설치 한 후 직원을 위해 완벽한 교육을 제공합니다.
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전기 제어 캐비닛 작동
1, 유리 진공 코팅 기계 오픈 워터 펌프, 가스 소스
2, 전체 전력을 엽니 다.
3, 열 유지 보수 펌프, 진공 미터 전원, 진공 게이지 파일 위치 V1 위치, 10 미만의 값을 기다린 다음 작업의 다음 단계를 입력하십시오. 약 5 분이 소요됩니다.
4. 기계식 펌프를 열고 예비 펌프를 열고 터빈 분자 펌프의 전원 공급 장치를 연 후 시작하십시오. 진공 게이지를 V2 위치로 전환하고 약 20 분이 될 때까지 펌프를 작동시킵니다.
5. 터빈 분자 펌프의 판독 값이 250에 도달 한 후 펌프를 닫고 전면 기계 및 하이 밸브를 열어 진공 펌프를 계속 진행하고 진공이 일정 수준에 도달 한 후에 만 높은 진공 게이지 헤드를 오른쪽 진공 학위를 관찰 열립니다. 총의 힘이 켜지 기 전에 진공은 2 10-3에 도달합니다.
def-6b 전자총 전원 공급 장치 캐비닛 작동
1, 총 출력
2, 진공 코팅 장비, 동시에 열려있는 Ⅰ 총 통제 및 총 통제 Ⅱ 힘 : 전자 총 통제에 따라 자동 유리제 Ⅰ 힘, 지연 스위치, 지연, 힘 및 빛을 보호하기 위하여, 3 분 후에 시간 릴레이가 지연되거나 보호되지 않으면 백 도어가 닫히지 않거나 전류 릴레이로 오작동이 발생하면 보호 기능이 정상적으로 작동합니다.
3. 높은 전압을 열면 고전압이 10KV 이상에 도달하고 약 200mA로 빔을 조정하고 커튼 그리드는 20V / 100mA, 필라멘트 전류 1.2a, 편향 전류는 1에서 1.7 사이에서 스윙합니다.
셧다운 시퀀스
1. 고진공 게이지 헤드와 분자 펌프를 끕니다.
2. 분자 펌프가 50으로 표시되면 하이 밸브, 프런트 스테이지 및 기계 펌프를 연속적으로 닫으십시오. 약 40 분이 소요됩니다.
3. 유지 펌프가 50 이하로되면 전원을 끄십시오.
코팅기의 일반적인 고장과 그 처리
마스크 클램프의 플립 신호는 감지 할 수 없습니다.
1. 플립 신호 소스의 위치를 확인하십시오.
2. 플립 입력 신호를 수동으로 단락시킵니다. 신호가 감지되지 않으면 먼저 회로를 점검 한 다음 제어 카드를 교체하십시오.
불안정한 마스크 클램프 플립 :
1. 플립 플레이트의 초기 위치가 타이밍과 일치하는지 확인하십시오.
2. 회전 메커니즘이 유연하고 신뢰할 수 있는지 확인하십시오. 포인터 멀티 미터는 추적 모니터링에 사용할 수 있습니다.
3. 회전 메커니즘이 유연하고 신뢰할 수 있는지 확인하십시오.
4. 회전 신호 시간 설정을 확인하십시오.
5. 회전 테이블이 벨 항아리의 내벽과 마찰을 일으키는 지 확인하십시오
6. 회전 할 때 회전 테이블의 안정성을 확인하십시오
동일한 마스크 고정 장치에서 주파수 분산은 크다 :
1. 칩 자체에 큰 분산이 있는지 확인하십시오.
2. 필름 보정 보드의 위치가 바뀌 었는지 확인하고 보정 보드를 다시 조정하십시오
3. 배플이 몰리브덴 보트를 완전히 덮고 있는지 확인하십시오
4. 개폐 할 때. 폭격 고리가 몰리브덴 보트를 덮고 있는지 확인하십시오.
5. 몰리브덴 보트가 요구 사항을 충족하는지 확인하십시오
POTS 간 큰 주파수 분산 :
1, 주파수 호핑 현상이 있는지 여부를 모니터에서 확인하십시오.
2, 반복 측정 및 발진기의 안정성 (75 HZ 이상)의 통합 모니터링 관찰
3, 냉각수가 장애물이 없는지 확인하십시오
4, 요구 사항에 따라 몰리브덴 보트 사용을 확인, 원형 몰리브덴 보트를 채택
5, 모니터링, 요구 사항을 충족 여부를 선택 내 회사의 모니터링을 권장합니다
도장 빈도가 멈추지 않습니다.
1. 주파수 파라미터 설정이 올바른지 확인하십시오
2, 표시가 있는지 여부, 몰리브덴 보트 전류계
3. 몰리브덴 보트에 은이 있습니까?
4. 모니터링 칩이 주파수 도약 여부
5. 보정 계수가 잘못되었는지 여부
6. 비정상 퇴각 후 모니터링 패널을 교체할지 여부
테스트하지 않은 주파수 :
1, 모니터링 시트 변경
2, 파편 변형
3, 직접 5 MHZ 크리스탈 오실레이터 입력 측정 주파수로, 주파수가없는 경우, 주파수, 출력 주파수 카운터 측정 오실레이터 이상, 정상 출력 오실레이터에 대한 증거가 문제가있다, 검증 된 질문을 가지고 정상적인 출력을 가지고 있지만 뭔가가있다 디스플레이 제어 카드에 대한 컴퓨터 증명에 문제가 있습니다 .
제어 밸브가 작동하지 않음 :
1. 5V 전원 공급 장치가 출력되고 올바르게 연결되었는지 확인하십시오
2. 솔리드 스테이트 릴레이 보드의 전원 공급 장치 공통 단이 전기 제어 밸브를 가지고 있으며 개별적으로 작동하지 않는지 확인하십시오
3. 해당 솔리드 스테이트 릴레이에 출력이 있는지 확인하십시오
진공없이 일하십시오 :
1. 디지털 진공 게이지에 이상 번호가 표시되며 0.00-4 (가정용 진공 게이지 공통)와 같은 30 초 내에 변화가 없습니다.
2. 진공 게이지가 30 초 동안 켜지면 검은 색 포인터가 여전히 진동하지 않습니다.
원칙을 이용한 모니터링
1, 청소 표면을 모니터링
2, 도금과 함께 사용 모니터, 사용 금지 공기에서 12 시간 이상 노출
3, 모니터링 및 표면 결함의 사용을 금지
4, 배치 레코드를 사용하는 프로세스에서 오래된 것과 새로운 것을 혼합해서 사용하는 것은 금지되어 있습니다.
5, 반복의 서비스 수명을 모니터링하는 것은 3 번입니다.