터보 분자 펌프의 장점에 대한 데이터 분석

터보 분자 펌프는 극저온 펌프, 이온 펌프 및 확산 펌프보다 성능면에서 우수합니다. 대부분의 정상적인 환경에서 사용됩니다.

(1) 유증 환류없이 세척

터보 분자 펌프는 트랩을 사용하지 않고 작동 절차에 따라 작동 할 수 있으며 펌핑 된 컨테이너 용 탄화수소가 포함 된 매우 깨끗한 진공 환경을 제공 할 수 있습니다. 현대의 터보 분자 펌프는 대형 펌프를 제외하고 오일을 거의 사용하지 않으며 대부분의 소형 펌프는 그리스 윤활 베어링을 사용하며 일부 소형 펌프는 에어 베어링을 사용하지만 자기 베어링은 더 자주 사용됩니다. 최근에는 많은 건식 백킹 펌프가 있었기 때문에 터보 분자 펌프 시스템은 유증기 역류가 없어 깨끗한 건식 고진공 펌프가되었습니다 (그림 4).

                            최고 압력 : 2 × 10-7 Pa

그림 4 터보 분자 펌프의 잔류 가스의 일반적인 스펙트로 그램

그림 4는 터보 분자 펌프 시스템에 탄화수소가 없음을 보여 주며, 곡선의 17과 18은 OH +와 H2O +를 나타냅니다.

(2) 사용하기 쉽다.

많은 응용 분야에서 터보 분자 펌프는 고진공 밸브 또는 거친 진공 밸브를 필요로하지 않습니다. 푸시 버튼을 누르기 만하면 대기압의 궁극적 인 압력까지 줄일 수 있습니다. 이 시스템은 터보 분자 펌프로 거칠게 펌핑 될 수 있으며 펌프는 작동 속도로 직접 가속 될 수 있으므로 밸브, 파이프, 트랩 및 밸브 컨트롤러와 같은 진공 부품의 필요성과 이러한 구성 요소의 고장을 제거합니다. 따라서, 터보 분자 펌프 시스템은 작은 공간을 차지하며, 설치 방향은 제한되지 않는다. 펌프는 어떤 방향으로도 설치할 수 있습니다 (± 5 °의 수직 범위 내에서만 작동 할 수있는 오일 윤활 펌프는 제외). 이 기능으로 터보 분자 펌프는 설치 위치가 제한된 곳에서 사용할 수 있습니다.

(3) 강한 가스 전달 능력

대부분의 터보 분자 펌프는 수소 및 헬륨과 같은 가벼운 가스를 전달할 수있는 우수한 기능을 가지고있어 부유 수소 공정, 헬륨 질량 분광계 누출 감지기 및 기타 응용 분야와 같은 초고 진공에서의 공정 작동에 매우 적합합니다. 펌프 부식성 가스를 위해 특수 설계된 터보 분자 펌프가 몇 가지 있는데, 에칭, 반응성 이온 에칭, 이온 빔 처리, 저압 화학 기상 증착, 에피 택시, 이온 주입 및 기타 공정에 적합합니다. 그리고 이러한 공정에서 펌핑 된 가스는 극저온 펌프, 이온 펌프 및 확산 펌프 오일을 부식시킬 수 있습니다. 심지어 표준이지만 보호되지 않은 터보 분자 펌프를 파괴합니다. 터보 분자 펌프는 일종의 전달 펌프이므로 펌핑 된 가스는 펌프에 축적되지 않고 통과 할 수 있습니다. 따라서, 스퍼터링, 에칭 등과 같은 높은 가스 부하 프로세스에 적합합니다.

(4) 초고 진공 응용 분야에 적합

성능이 우수한 2 단 회전 베인 펌프 (또는 동일한 성능의 건식 프리 스테이지 펌프)가 장착 된 우수한 밀봉 및 가스 제거 터보 분자 펌프는 일반적으로 10-9 ~ 10-10 Torr의 극한 진공을 가질 수 있습니다 (즉, 133.3 및 13.33 nPa). 터보 분자 펌프가 다른 우수한 밀봉 및 탈기 터보 분자 펌프와 직렬로 연결된 경우,이 펌프의 궁극적 인 압력은 일반적으로 1 x 10 -10 ~ 1 x 10 -11 Torr (즉, 13.33 ~ 1.333 nPa)입니다. 극저온 펌프 또는 이온 펌프와 달리 터보 분자 펌프는 초고 진공 조건에서 최대 펌프 속도로 작동 할 수 있습니다. 이러한 특성과 좋은 청결도 (탄화수소 없음)는 분명히 사용자가 고해상도 질량 분석기, 분자 빔 에피 택시 장치, 초고 진공 분석 장비 및 기타 장비 용 터보 분자 펌프를 선택할 것입니다.

(5) 고압 하에서 양호한 성능

일부 터보 분자 펌프의 입구 압력은 10-1 ~ 10-3 Torr (즉, 13.33 Pa 및 133.3 mPa) 사이에서 작동 할 수 있습니다. 이온 펌프는이 압력 범위에서 사용할 수 없으며 확산 펌프의 경우 작동이 불안정 해집니다.

(6) 짧은 사이클링 시간

대부분의 터보 분자 펌프, 특히 작은 펌프는 일반적으로 정상 작동 속도에 도달하는 데 1 ~ 3 분이 걸립니다. 그리고 펌프의 종류와 모델에는 약간의 차이가 있습니다. 터보 분자 펌프는 즉시 꺼져서 대기에 노출 될 수 있습니다. 이 빠른 사이클링 기능은 샘플 입력 시스템, 특히 휴대용 누출 감지기에 유용합니다.

(7) 긴 서비스 시간

일부 적용 분야에서, 터보 분자 펌프는 다른 펌프보다 수명이 길다. 무거운 가스 부하 및 밸브 누출은 때때로 극저온 펌프의 재생 또는 수리로 이어집니다. 게다가, 터보 분자 펌프는 또한 펌프 오일에 의한 진공 챔버의 오염을 제거 할 수있다.