진공 시스템의 설계 및 제조

진공 시스템의 설계 및 제조

고진공 초고진공 시스템의 설계는 특정 지침을 따라야 하며, 특히 Cavity와 같이 사용되는 재료 및 표면 처리 공정은 낮은 가스율의 재료를 사용하기 위해 진공 챔버 및 파이프의 표면적을 최소화하도록 설계되고 공동 내부에 죽은 공간(예: 스레드 막힌 구멍)이 없도록 하고 슬릿 모세관 구조 등을 피하기 위해 내부에 높은 수축률의 재료(예: 고무 플라스틱 절연지 등)에 설치하거나 배치하여 밀봉을 줄입니다. 금속 씰 구조를 사용하는 관통 부품 수 등은 내부에서만 용접할 수 있습니다. 위치 크기의 제한으로 인해 외부에서 용접해야 합니다. 적절하게 용접해야 합니다 내부 표면 처리 시스템(예: 연마 탈지 등). ) 엄격한 누출 감지

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