마 그 네트 론 스퍼터 링에 의해 고르지 박막 원인의 진공 코팅 기계

고르지 못한 필름 층의 요인에 의해 발생마 그 네트 론 스퍼터 링 진공 코팅 기계세 가지 측면을 포함: 상태, 자기 필드와 아르곤 가스를 진공.

작동 원리는마 그 네트 론 스퍼터 링 진공 코팅 기계진공 상태에서 아르곤을도 배 하 고 대상 이온 양식 박막 일 조각의 표면에 예금 될 수 있도록 다음 폭격 대상 소재, 아르곤 이온을 형성 하는 직교 자기장의 전자에서입니다.

진공 상태 제어, 펌핑 시스템을 필요로 하 고 각 환기 동시에 작동 식 개폐 하 고 일관 되어야. 경우에 양수 하는 것은 유니폼, 진공 챔버 내부 압력도 있을 것입니다. 압력은 이온의 이동에 특정 영향. 또한, 펌핑의 시간을 제어 해야 합니다. 너무 짧은 부족 한 진공 이지만 너무 길고 자원의 낭비.

마그네틱 필드 직교, 작동 하지만 자기장 강도 100% 균일 할 수는 없습니다. 어디 일반적인 자기장은 강한, 영화의 두께 큰, 하지만 그것은 반대로 작은, 그래서 영화의 두께의 불일치가 발생 합니다. 그러나,이 생산 과정에서 자기장 균일도 인 영화의 흘 공통 되지 않습니다.

아르곤 가스 균일 필름 균일성에도 영향을 미칩니다 그리고 원리는 진공 비슷합니다. 때문에 아르곤 입력 진공 챔버, 챔버 내부에 압력 변경 됩니다. 균일 한 압력의 마 그 네트 론 스퍼터 링 진공 코팅 필름 두께의 균일성을 제어할 수 있습니다.

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