챔버 진공을 개선하기위한 고온 베이킹 탈착 및 탈기

1) 챔버 진공을 개선하기위한 고온 베이킹 탈착 및 탈기 : 진공 시스템은 10-9 torr 이상의 초고 진공을 얻어야하며, 실온에서 며칠 또는 몇 주 동안 연속 펌핑을 통해서만 달성 할 수 있습니다. 진공 시스템 또는 시스템의 일부를 가열 및 베이킹함으로써, 고체 표면상의 가스 분자의 탈착 속도가 가속화 될 수있다. 챔버의 진공은 베이킹이 실온으로 감소 된 후 일반적으로 1-2 배 정도 증가된다.

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