질량 유량 제어기 소개

질량 유량 제어기 (MFC)는 가스의 질량 유량을 정밀하게 측정하고 제어하는 데 사용됩니다. 일반적으로 유량 센서, 유량 제어 밸브, 증폭 제어 회로 및 분기 제어 채널로 구성됩니다. 그것의 지원 흐름 디스플레이 전원 공급 장치에 의해 자사의 작업 전원 공급 장치 및 흐름 표시 및 설정 작업.

사용 및 기능

MFC는 반도체 마이크로 일렉트로닉스 산업, 특수 재료 개발, 화학 산업, 석유 산업, 의약, 환경 보호 및 진공과 같은 많은 분야에서 과학 연구 및 생산에 중요한 역할을합니다.

일반적인 응용 분야는 다음과 같습니다 : 확산, 산화, 에피 택시, CVD, 플라즈마 에칭, 스퍼터링, 이온 주입과 같은 전자 공정 장비; 진공 코팅 장비, 가스 크로마토 그래프 및 기타 분석 장비.

고 정확도, 양호한 재현성, 빠른 응답 속도, 소프트 스타트, 안정적이고 신뢰할 수있는 작동 압력 범위 (고압 또는 진공 상태에서 작동 할 수 있음)를 갖춘 매스 플로우 컨트롤러 및 질량 유량계는 사용하기 쉽습니다. MFC는 어느 위치 에나 설치할 수 있으며 컴퓨터와 연결되어 자동 제어를 실현합니다.

유량계는 일반적으로 다음과 같은 유형으로 구분됩니다 :

1. 체적 유량계

기계적 측정 요소를 사용하여 유체를 하나의 알려진 볼륨 부분으로 계속 나눕니다. 유체의 부피 유량은 측정 챔버로부터 연속적으로 채워지고 배출되는 유체의 부피의 횟수에 따라 측정됩니다.

2. 플로트 유량계 (로터 유량계)

부유 식 유량계는 일종의 가변 면적 식 유량계로, 수직 원추형으로 위쪽에서 아래쪽으로, 플로트 중력의 원형 단면은 액체 동력에 의해지지되어 부유물이 원추형에서 자유로울 수 있도록합니다.

3. 차압 식 유량계

이것은 파이프에 설치된 유량 감지기에 의해 생성 된 차압, 알려진 유체 및 파이프와 파이프 사이의 유량을 계산하기위한 미터의 상태를 기반으로합니다.

4. 와류 거리 용 유량계 (VSF)

비 유선형 와류 발생기가 유체에 배치되고 유체가 생성 본체의 양 측면에서 교대로 분리되어 두 개의 일련의 규칙적으로 비월 된 와류 계기를 방출합니다.

5. 터빈 유량계

속도 유량계의 주요 유형입니다. 다중 블레이드 로터 (터빈)를 사용하여 유체의 평균 속도를 감지하고 유량 볼륨 또는 총량을 계측합니다.

6. 초음파 유량계

초음파 빔 (또는 초음파 펄스)에 대한 유체 흐름의 영향을 측정하여 유량을 측정합니다.

7. 전자기 유량계

전자기 유량계는 패러데이의 전자기 유도 법칙에 따라 액체의 전도도를 측정하기위한 도구의 일종입니다.

8. 열 질량 유량계

열 유량계 센서에는 속도 센서와 온도 센서의 두 가지 감지 요소가 있습니다. 그들은 가스의 온도 변화를 자동으로 보정하고 보정 할 수 있습니다. 계기의 전기 가열 부는 속도 센서를 작업 조건의 온도보다 높은 일정 값으로 가열하여 작동 온도 조건에서 속도 센서와 센서 사이의 일정한 온도차를 형성했습니다. 온도차가 일정하게 유지되면, 전기 가열에 의해 소비되는 에너지는 가스 흐름의 질량 흐름에 비례하며, 단일 가스 및 고정 된 비율의 다 성분 가스의 측정에 적합하다.