중파 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치

중주파 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치의 출현은 주로 DC 전력 반응성 스퍼터링 중 타겟 중독 및 아크 점화로 인한 것입니다. 아크 스퍼터링은 반응성 스퍼터링에서 나타날뿐만 아니라 금속의 dc 스퍼터링에서도 발생할 수 있으며, 결과적으로 코팅의 표면 형태가 충분히 조밀하지 않아 시스템의 안정성과 필름의 품질에 심각한 영향을 미칩니다. 2 개의 스퍼터링 타겟을 부하로하는 중간 주파수 스퍼터링 전원 공급 장치, 2 개의 타겟이 교대로 작동하므로 스퍼터링에 의한 역 전압의 절반 이상 동안 스퍼터링주기를 스퍼터링 타겟으로하여 타겟 물질의 표면에 축적 된 전하를 완전히 방전시키고, 아크 방전 및 표적 중독 표면 억제에 유리하며, 특히 멤브레인 층을 사용하는 반응 환경에 적합합니다.
DC 전원 공급 장치와 비교하여 전원 공급 장치에도 주파수 및 듀티 사이클 조정 기능이있는 경우 (구형파 출력 유형 만 해당)이 두 매개 변수는 코팅 공정에 중요한 영향을 미칩니다.

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