반응성 마그네트론 스퍼터링 코팅

반응성 마그네트론 스퍼터링 코팅
반응성 스퍼터링은 반응성 가스(산소 또는 질소)를 도입하여 화합물의 박막을 증착하는 공정입니다. 이것은 일반적으로 산화물, 질화물, 탄화물 및 이 세 가지의 혼합물을 스퍼터링하는 데 사용됩니다. 반응성 스퍼터링 공정에서 반응 가스는 스퍼터링 타겟과 반응하여 기판에 증착됩니다. 반응성 스퍼터링의 목적은 화학양론적이며 구조적으로 제어되는 박막을 생산하는 것입니다. 막의 조성은 불활성 가스와 반응성 가스의 상대적인 양을 조절하여 조절할 수 있습니다.

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