정기적 인 누출 감지가 중요합니다
Mar 21, 2025| 정기적 인 누출 감지가 중요합니다
큰 누출은 일반적으로 매우 명백합니다. 진공 챔버 압력은 정상 속도로 감소하지 않거나 한계 압력이 정상보다 상당히 높습니다. 그러나 진공 펌프가 누출 가스로 인한 공기 하중을 쉽게 처리 할 수 있기 때문에 때로는 작은 누출이 감지하기가 어렵습니다. 이 시점에서 게이지 판독 값이 여전히 정상 수준이더라도 누출의 모양은 여전히 진공 챔버에 예기치 않은 가스 (예 : 산소)를 유발할 수 있으며, 이는 때때로 공정 (예 : 일부 코팅 공정)에 매우 심각한 영향을 줄 수 있습니다. 따라서 진공 시스템의 압력에 명백한 하락이 있는지 여부에 관계없이 누출 감지를 정기적으로 점검해야합니다.

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