루츠 펌프 시리즈 기계식 진공 펌프 진공 시스템

루츠 펌프 시리즈 기계식 진공 펌프 진공 시스템
시스템의 작동 압력 범위는 1.33 ~ 1333Pa입니다. 장점은 펌핑 용량이 크고 시작이 빠르며 사전 펌핑 시간이 짧다는 것입니다. 단점은 작업할 때 시끄럽다는 것입니다. 그림 5-12는 이러한 진공 시스템의 일반적인 다이어그램을 보여줍니다.

▲ 그림 5-12 이온 침탄 및 담금질로의 진공 시스템: 1- 침탄 챔버 2- 집진기 3- 공압 밸브 4- 루츠 펌프 5- 거친 추출 밸브 6- 차압 릴리프 밸브 7- 전면 기계식 펌프 8- 유지 보수 기계식 펌프

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