스퍼터링 이온펌프 오일프리 초고진공 시스템

스퍼터링 이온펌프 오일프리 초고진공 시스템
그림 5-15은 시스템의 개념도를 보여줍니다. 스퍼터링 이온펌프가 메인펌프이고, 프리펌핑 펌프로 2개의 분자체 펌프가 사용되는데, 그 중 하나는 진공챔버와 스퍼터링 이온펌프에서 대기압 하의 가스를 제거하는데 사용되고, 다른 하나는 베이킹 및 이온펌프 가동 시 발생하는 가스를 제거합니다.

▲ 그림 5-15 스퍼터링 이온 펌프 오일 프리 초고진공 시스템: 1-진공 챔버 2-BA 진공 게이지 3- 초고진공 밸브 4- 울트라 -고진공 게이트 밸브 5-스퍼터링 이온 펌프 6- 고진공 밸브 7- 분자체 펌프 8- 열전대 진공 게이지

IKS PVD 회사, 장식 코팅 기계, 도구 코팅 기계, DLC 코팅 기계, 광학 코팅 기계, PVD 진공 코팅 라인, 턴키 프로젝트가 가능합니다. 지금 문의하세요. 이메일: iks.pvd@foxmail.com