응축 펌프는 펌핑을 위해 저온 표면에서 가스를 응축시키기 위해 흡입됩니다.

1) 응축 펌프는 펌핑을 위해 저온 표면에서 가스를 응축시키기 위해 흡입됩니다. 진공 챔버에 차가운 표면이 있으면 응축이 발생하여 공기 추출의 역할을 할 수 있습니다. 이것이 극저온 응축 펌프와 극저온 콜드 트랩의 작동 원리입니다. 포화 증기압은 온도와 밀접한 관련이 있으며 온도가 내려 가면 포화 증기압이 내려갑니다.

표 1은 대기의 표준 조성을 보여줍니다. 그림 1은 다양한 가스의 포화 증기압의 온도 관계 곡선을 보여줍니다. 그림 1에서 볼 수 있듯이 네온, 수소, 헬륨 및 기타 응축하기 어려운 가스를 제외하고 온도가 20K로 떨어지면 공기 중 다른 모든 성분의 포화 증기압은 10-10 torr보다 낮습니다. 따라서, 공기로 채워진 밀폐 용기가 20K로 냉각 될 때, 진공은 1.2E-3 torr에 도달 할 수있다. 4.2k에서는 헬륨 만 남고 진공은 최대 5e-5torr입니다. 응축 펌프의 차가운 표면은 일반적으로 약 14-20k에서 선택 될 수 있으며, 쉬운 응축 가스로 플러싱하거나 다른 펌프로 진공 청소기로 청소하는 방법은 펌핑 된 수소, 헬륨 및 기타 어려운 응축 가스의 양을 크게 줄이기 위해 채택됩니다 체계. 작동 중에 시스템으로 누출되는 소량의 어려운 응축 가스도 다른 펌프로 제거 할 수 있습니다.

[표 1] 표준 대기 조성

[무화과. 1] 각종 가스의 포화 증기압의 온도 관계

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