DLC 코팅의 주요 성능

DLC 코팅의 주요 성능

1. 서로 다른 증착 방법으로 제조된 DLC 필름의 경도와 탄성 계수는 ​​크게 다릅니다. 경도가 다이아몬드 이상인 DLC 필름은 자기 필터링 음극 아크 방식으로 제조할 수 있으며 음극 아크 방식으로 제조된 DLC 필름의 경도는 50GPa 이상에 도달할 수 있습니다. 비평형 마그네트론 스퍼터링 방법은 최대 21GPa이며, 필름 층의 조성은 필름 층의 경도에 일정한 영향을 미칩니다. DLC 필름은 탄성률이 높아 다이아몬드(1100GPa)보다는 낮지만 일반 금속 및 세라믹보다는 분명히 높다. b. 필름의 내부 응력과 결합 강도는 필름의 안정성과 수명을 결정하고 필름의 성능에 영향을 미치는 두 가지 중요한 요소입니다. 내부 응력이 높고 결합 강도가 낮은 DLC 필름은 응용 프로그램에서 균열 및 접힘이 발생하거나 떨어지기 쉽습니다. 따라서 준비된 DLC 필름은 적당한 압축 응력과 높은 결합 강도를 갖는 것이 좋습니다. 대부분의 연구에 따르면 매트릭스에 직접 증착된 DLC 필름의 필름/베이스 결합 강도는 일반적으로 낮으며 DLC를 개선하기 위해 Ti/TiN/TiCN/TiC 중간 구배 전이층의 방법이 채택되었습니다. 필름과 필름 사이의 결합 강도 매트릭스는 44N-74N이고 필름 컨덕턴스의 전체 두께는 5미크론에 달할 수 있습니다.

2. 마찰 특성 DLC 필름은 내마모성이 우수할 뿐만 아니라 마찰계수가 일반적으로 0.2 미만으로 매우 낮아 표면 내마모성이 우수한 개질 필름입니다. DLC의 마찰계수는 준비물에 따라 다릅니다. 최대 0까지 마찰 계수가 낮은 필름의 공정 및 구성.005. 금속 원소의 도핑은 마찰 계수를 감소시킬 수 있지만 H를 추가하면 윤활 효과를 향상시킬 수 있으며 환경도 마찰 계수에 일정한 영향을 미칩니다. 그러나 일반적으로 DLC 필름은 기존의 경질 필름(예: 위에서 언급한 TiN)과 다릅니다. TiC TiAlN 등)은 마찰 계수에서 분명한 이점이 있으며 이러한 기존 경질 필름의 마찰 계수는 0.4 이상이므로 DLC 필름을 대체할 수 있습니다. 마찰 공학의 많은 분야에서 이러한 전통적인 경질 필름.

3. 열적 안정성 DLC는 준안정성 물질로 낮은 열적 안정성은 제한적입니다. DLC 필름 적용에 중요한 요소는 300도 이상에서 Annealing 시 SP3 본드에서 SP2 본드로의 전이가 나타납니다. 따라서 DLC 필름의 열적 안정성을 향상시키기 위한 많은 노력이 이루어졌다. 연구에 따르면 Si를 추가하면 20 AT% Si를 포함하는 DLC 필름의 열 안정성이 크게 향상될 수 있습니다. SP3 결합에서 SP2 결합으로의 전이는 필름이 740도에서 어닐링될 때만 발생합니다. 마찬가지로 금속(예: Ti W Cr)을 추가하면 DLC 필름의 열 안정성도 향상될 수 있습니다. 이에 대한 연구를 진행하고 있습니다.

4. 내식성 순수한 DLC 필름은 내식성이 우수하여 모든 종류의 산과 알칼리, 아쿠아 아쿠아 아쿠아에도 침식되기 어려우나 다른 원소가 도핑된 DLC 필름은 도핑된 원소가 산화되어 내식성이 저하됩니다. 먼저 침식되어 영화의 연속성을 파괴합니다.

5. 표면 상태 DLC 필름의 표면은 일반적으로 매끄럽고 깨끗하며 기판의 표면 마감에 큰 영향을 미치지 않습니다. 그러나 필름 두께가 증가함에 따라 표면광은 감소합니다. 다른 증착 방법으로 얻은 DLC 필름의 표면 마감도 다르며 이온 소스 기술로 증착한 DLC 필름의 표면 품질은 ARC 이온 도금 DLC의 표면 품질보다 분명히 우수합니다. 필름은 특히 비철 금속에 대한 내접착성이 우수합니다. (구리, 알루미늄, 아연 등), 플라스틱, 고무, 세라믹 등에 대한 접착 저항성도 있습니다.

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