진공에 대한 명사 설명

진공에 대한 명사 설명

IKS PVD iks.pvd@foxmail.com

1. 진공의 정의

진공 시스템은이 지역의 대기압보다 얇은 가스량입니다.

2. 진공도

진공에서의 얇은 정도는 보통 "고진공"및 "저 진공"으로 표현됩니다. 높은 진공은 좋은 것을 의미하고, 낮은 진공은 가난한 것을 의미합니다.

3. 진공 유니트

일반적으로 Torr이 단위로 사용되며 Pa는 최근 몇 년간 국제적으로 사용됩니다.

1 홀더 = 1/760 대기 = 1 밀리미터의 수은

4. Tod와 PA 사이의 이동

1 팔레트 = 133.322 팔레트 또는 1 팔레트 = 7.5 배 10-3 팔레트

평균 자유 경로

불규칙한 열 운동에서 가스 입자가 연속적으로 두 번 충돌하여 지나가는 평균 거리는 "출발"기호로 표시됩니다.

6. 흐름

Pa / L / s (Pa · L / s) 또는 Torr · L / s (Torr · L / s) 단위로 "Q"로 표시되는 단위 시간의 모든 단면을 통과하는 기체의 양.

7. 흐름 가이드

그것은 가스를 통과하는 진공관 라인의 능력입니다. 단위는 초당 리터 (L / s)이며, 정상 상태에서 파이프 흐름은 파이프 흐름을 파이프의 두 끝단 사이의 압력 차이로 나눈 것과 같습니다. 이 기호를 U라고합니다.

U = Q / (P2, P1)

8. 압력 또는 압력

컨테이너의 벽의 단위 면적당 가스 분자에 의해 가해지는 힘은 P로 표현된다.

9. 표준 대기압

1 제곱 센티미터 당 101325의 압력, 기호 : (Atm).

10. 궁극 진공

진공 용기가 완전히 펌핑 된 후, 이는 궁극적 인 진공이라고하는 특정 진공도에서 안정화됩니다. 일반적으로 진공 용기는 12 시간 동안 공기 정제를 거친 다음 12 시간 동안 진공을 수행해야합니다. 마지막 시간은 10 분마다 측정됩니다. 평균값 10 배를 한계 진공도로 취합니다.

11. 펌핑 속도

일정한 압력과 온도에서 펌프 흡입구에서 단위 시간으로 펌핑되는 가스를 펌핑 속도 또는 펌핑 속도라고합니다. Sp = Q / (p-p0).

12. 열전쌍 진공 게이지

가열 요소의 온도 및 열 전도에 대한 요소의 온도와 관련하여 열전쌍의 전위를 사용하여 진공도를 측정하는 데 사용되는 진공 게이지입니다.

13. 이온화 진공 게이지 (hot cathode ionization gauge)

관 모양의 컬렉터 폴, 그리드 및 그리드 중앙에 위치한 필라멘트로 구성됩니다. 관상 컬렉터 폴은 그리드 외부에 있습니다. 열 음극 방출 전자 이온화 된 가스 분자는 진공계의 가스 압력을 측정하기 위해 수집 된 이온 흐름 크기에 따라 콜렉터에 의해 수집됩니다.

14. 합성 진공 게이지

열전대 진공 게이지와 열전자 이온화 진공 게이지로 구성되어 있으며 측정 범위는 ~ 10-5pa입니다.

15. 냉 음극 이온화 게이지

애노드 튜브의 양단에 한 쌍의 음극판이있어 외부 자계의 작용에 의해 애노드 관 내부에 판닌 방전이 형성되어 이온이 발생하고 이온의 크기에 따라 가스 압력의 진공계가 결정됩니다 음극 판에 의해 수집 된 흐름.

16. 저항 진공 게이지

가열 요소의 저항이 온도와 관련이 있고 요소의 온도가 가스 전도와 관련되어 있다는 원리를 사용하여 브리지 회로를 사용하여 진공도를 측정하는 진공 게이지.

17. McLeod 진공 게이지 (압축 진공 게이지)

측정 할 가스는 수은 (또는 오일)로 매우 작은 부피로 압축 된 다음 개봉 튜브와 닫힌 튜브 사이의 액체 칼럼 차이와 비교됩니다.

18 및 B-A 게이지

이것은 콜렉터 반전이있는 핫 캐소드 이온화 게이지입니다. 컬렉터 전극은 필라멘트이며, 그리드의 중심에 배치되며, 필라멘트는 그리드 바깥에 배치되므로 연 X 선의 영향을 줄일 수 있습니다.

19. 워터 링 진공 펌프

펌프 임펠러가 회전하여 물 링을 생성합니다. 이것은 기계식 진공 펌프로, 로터 편심 회전으로 인해 워터 링과 블레이드 사이의 볼륨이 주기적으로 변경되기 때문에 공기를 펌핑합니다.

20. 왕복동 진공 펌프

이것은 기계식 진공 펌프로 피스톤의 왕복 운동으로 공기를 흡입합니다.

21. 오일 씰 기계적 진공 펌프

오일이있는 기계식 진공 펌프는 고정식, 회전식, 슬라이딩 밸브 형, 트로코이드 형 등으로 나눌 수 있습니다.

22. 뿌리 진공 펌프

동기식 고속 회전식 슈 로터가있는 기계식 진공 펌프는 별도로 펌프 할 수 없으며, 오일 씰, 워터 링 및 기타 진공 펌프로 직접 대기를 배출 할 수 있습니다.

23. 터보 분자 진공 펌프

고속 회전 임펠러가 있습니다. 가스 분자가 고속 회전하는 터빈 블레이드와 충돌하면 배출구로 배출 된 다음 전방 펌프로 제거됩니다.

24. 오일 확산 진공 펌프

고속 증기 흐름이 확산 펌프의 노즐에서 분사됩니다. 분자 흐름의 조건 하에서, 가스 분자는 증기 흐름으로 연속적으로 확산되고, 증기 벨트에 의해 단계적으로 펌프 출구로 압축 된 후 이전 펌프에 의해 배제된다.

25. 저온 진공 펌프

진공 펌프는 20K 이하에서 저온 표면의 흡착 가스를 응축시키는 데 사용됩니다.

26. 콜드 트랩 (물 배플)

진공 용기와 펌프 사이에 배치되어 가스를 흡수하거나 유증기를 포착하는 장치.

27. 공기 밸러스트 밸브

작은 구멍을 열고 압력 조절기에 넣고, 밸브를 열 때 특정 위치로 회 전자, 압축 비율을 줄이기 위해 압축 공기 챔버와 함께이 구멍을 통과, 볼륨을 조정하므로 압축 챔버에 기계 오일 씰 진공 펌프, 그래서 증기의 대부분을 만드는 것처럼 밸브의 역할에 혼합 가스와 함께 펌프 밖으로 잠겨 응축됩니다 가스 밸러스트 밸브라고합니다.

28. 진공 동결 건조

진공 동결 건조 (승화 건조라고도 함). 아이디어는 물이 얼음으로 바뀌도록 재료를 동결시킨 다음 진공 상태에서 얼음을 승화시켜 건조시킵니다.

29. 진공 증발

진공 환경에서, 재료를 기판 상에 가열 및 코팅하는 것을 진공 증착 또는 진공 코팅이라한다.

30. 진공 건조

그것은 진공 환경에서 낮은 끓는점을 사용하여 기사를 건조하는 방법입니다.

31. 진공 시스템의 공통 명칭

(1) 메인 펌프 : 진공 시스템에서 진공 코팅 기계의 오일 확산 펌프와 같은 특정 프로세스 요구 사항을 충족하는 데 필요한 진공도를 얻기 위해 사용되는 진공 펌프가 주 펌프입니다.

(2) 전단 펌프 (front stage pump) : 진공 펌프의 압력을 중요한 전방 스테이지 아래의 전방 스테이지에서 유지 시키는데 사용되는 진공 펌프. 회전 베인 또는 슬라이드 밸브 펌프는 뿌리 펌프의 경우와 마찬가지로 포어 펌프입니다.

(3) 러프 펌프 (rough pump) : 대기압 하에서 공기를 펌프하기 시작한 진공 펌프, 그리고 다른 진공 펌프로 시스템 압력을 펌핑하여 작업을 시작합니다. 슬라이딩 밸브 펌프에 진공 코팅 기계와 같은 거친 오일 펌프입니다.

(4) 유지 펌프 : 진공 시스템에서는 공기량이 매우 적고 전방 펌프를 효과적으로 사용할 수 없습니다. 이를 위해, 보조 펌프의 작은 용량은 메인 펌프 작업을 유지하기 위해,이 펌프는 유지 보수 펌프라고합니다. 작은 회전 베인 펌프가 확산 펌프의 출구에 제공되는 경우 유지 펌프입니다.