진공 장비 제품 분류 및 특성과 진공 펌프를 선택하는 방법
Jan 24, 2019| 진공 장비 제품 분류 및 특성과 진공 펌프를 선택하는 방법
IKS PVD, PVD 코팅 기계 factory.contact : iks.pvd@foxmail.com
진공 장비 제품은 다섯 가지 범주로 나눌 수 있습니다 :
(1) 진공 획득 장비 - 진공을 발생, 향상 또는 유지하는 장치. 거친, 저, 중, 고, 초고 진공 펌프 및 진공 장치의 다양한 포함.
A. 기계식 진공 펌프 : 회전 날개 펌프, 왕복 운동 펌프, 슬라이드 밸브 펌프, 뿌리 펌프, 분자 펌프 및 액체 링 펌프 등
B. 증기 흐름 진공 펌프 : 수증기 제트 펌프, 오일 부스터 펌프 및 오일 확산 펌프 등
C. 가스 포착 진공 펌프 : 티타늄 스퍼터링 이온 펌프, 극저온 펌프, 분 자체 흡착 펌프 및 지르코늄 및 알루미늄 흡착 펌프.
D. 진공 장치 : 진공 발생, 진공 측정 및 진공 제어와 같은 구성품으로 구성된 일종의 장치입니다.
(2) 진공 응용 장비 ~ 진공 환경에서 적용되는 다양한 장비 (한 대기의 기체 상태 하에서).
A. 진공 코팅기 : 증착 코팅기, 마그네트론 스퍼터링 코팅기, 이온 코팅기 및 플라즈마 화학 증착 장치 등
B. 진공 용광로 : 저항로, 전자 빔로, 전기로, 유도로 및 단결정로 등
다. 진공 열처리로 : 담금질로, 템퍼링로, 어닐링로, 침탄로, 질화로 및 금속 화로 등.
D. 기타 진공 장비 : 동결 건조 장비, 증류 장비, 정화 장비, 함침 장비, 과일 및 야채 보존 장비, 운송 장비, 우주 시뮬레이션 장비, 포장 기계 및 철강 가스 제거 장치 등
(3) 진공 측정기구 (Vacuum measurement instrument) : 한 대기압 이하의 기체와 증기의 압력을 측정하는기구.
A. 저 진공 게이지 (측정 범위 : 105 - - 102 Pa).
B. 중간 진공 게이지 (측정 범위 : 102 ~ 110pa).
C. 고진공 게이지 (측정 범위 : l0-1-10-5pa).
D. 초고 진공 게이지 (측정 범위 <>
(4) 진공 누설 감지기 : 진공 시스템 또는 구성 요소의 누설 구멍 위치 또는 속도를 감지하는 장비. 여기에는 고주파 스파크 누출 탐지기 할로겐 누출 감지기 및 헬륨 질량 분광계 누출 감지기가 포함됩니다.
(5) 진공 밸브 - 유량 조절, 진공 시스템의 파이프 라인 절단 또는 연결에 사용되는 부품. 플러그 플레이트 밸브, 배플 밸브, 솔레노이드 밸브, 자기 테이프 배출 밸브, 다이어프램 밸브 및 조절 밸브 포함.
진공 펌프를보다 잘 선택하고 사용하기 위해 다음과 같은주의 사항을 요약하여 알맞은 제품을 선택하십시오. 실제 상황에 따라 다음 사항에주의를 기울여야합니다.
1, 프로세스 및 환경의 진공 펌프 작동 진동 영향을주지 않습니다. 프로세스가 지원하지 않으면 펌프의 진동을 선택하거나 진동을 방지하기위한 일련의 조치를 취해야합니다.
2. 가스에 입자 먼지 또는 부식이 있는지 여부와 상관없이 펌핑 가스의 조성을 파악하십시오. 진공 펌프를 선택할 때, 가스의 성분을 알아야합니다. 가스에 증기, 입자 및 부식성 가스가 포함되어있는 경우 보조 장비를 펌프의 흡입구에 설치하는 것이 좋습니다.
3, 작동 압력에서 진공 펌프, 모든 가스 생산 과정에서 진공 장비를 배출 할 수 있습니다.
4, 진공 펌프의 올바른 조합. 때로는 진공 펌프가 선택적 펌핑을 가지고 있기 때문에 펌핑의 요구 사항을 충족시킬 수없는 펌프를 선택하고, 펌핑 요구 사항을 충족시키기 위해 여러 펌프 조합을 보완해야합니다.
티타늄 승화 펌프가 수소에 대한 높은 펌핑 속도를 가지나 헬륨을 펌핑 할 수없고 트라이폴린 스퍼터링 이온 펌프 (또는 양극 비대칭 캐소드 스퍼터링 이온 펌프)가 아르곤에 대해 특정 펌핑 속도를 갖는다면, 진공 장치는 대응하는 진공도 .
5. 진공 장비의 오일 오염에 대한 요구 사항. 장비가 명확하게 오일이 필요없는 경우, 물 링 펌프, 분 자체 흡착 펌프, 스퍼터링 이온 펌프, 극저온 펌프 등 다양한 펌프를 선택해야합니다. 요구 사항이 엄격하지 않으면 펌프를 선택할 수 있습니다. 일부 석유 오염 방지 조치.
6, 진공 펌프 작동 지점의 올바른 선택. 각 펌프에는 일정한 작동 압력 범위가 있습니다. 따라서이 범위에서 펌프의 작동 점을 선택하는 것이 더 적합하며 오랫동안 25 ~ 30mmHg에서 작동하도록 할 수 없습니다.
7. 진공 펌프에서 배출되는 유증기가 환경에 미치는 영향은 무엇입니까? 환경 오염을 허용하지 않는 경우, 오일 프리 진공 펌프 또는 오일 증기 배출을 옥외로 선택할 수 있습니다.
8. 진공 펌프의 작동 압력은 진공 장비의 극한 진공 및 작동 압력의 요구 사항을 충족시켜야한다. 예를 들어, 진공 건조 공정은 10mmHg의 작동 진공이 필요하며 선택된 진공 펌프의 궁극 진공은 최소 2mmHg이어야하며 최고는 1mmHg에 도달 할 수 있어야합니다. 일반적으로 펌프 한계 진공을 선택하면 진공 장비 작동 진공보다 절반 정도 더 높습니다.
9. 마지막으로, 진공 펌프의 초기 설치 가격, 작동 및 유지 보수 비용을 고려하여 실제 상황과 함께 높은 비용 성능을 가진 진공 펌프를 선택하십시오.