진공 증착 및 스퍼터링 코팅

진공 증착 및 스퍼터링 코팅

상기 진공증착코팅법(이하 진공증착코팅이라 함)은 피막을 형성하고자 하는 원료를 진공챔버내의 증발용기에서 가열하여 그 원자 또는 분자를 표면으로부터 기화시켜 증기류를 형성시키는 방법으로서, 고체(기판 또는 기판이라고 함) 표면에 입사하여 응결되어 고체 필름을 형성합니다. 스퍼터링 코팅은 기능성 입자를 사용하여 타겟 물질의 표면 원자가 충분한 에너지를 얻고 탈출할 수 있도록 진공 상태에서 타겟 물질의 표면을 폭격하는 과정을 말합니다. 스퍼터링 타겟 재료는 스퍼터링 코팅이라고 하는 기판 표면에 증착됩니다. 스퍼터링 코팅막의 입사 이온은 일반적으로 10^-2Pa ~ 10Pa 범위의 글로우 방전에 의해 얻어지므로 스퍼터링된 입자가 비행하는 과정에서 진공 챔버의 가스 분자와 충돌하기 쉽습니다. 모션 방향이 무작위이고 증착된 필름이 균일하기 쉽도록 매트릭스에. 마그네트론 스퍼터링 코팅의 규모 개발, 증착 속도가 높고 공정 반복성이 좋고 자동화가 용이하며 대규모 건축 장식 코팅 및 산업용 재료의 기능성 코팅에 적합하며 TGN-JR 유형은 코일 폼 플라스틱 및 섬유 직물 도금 니켈 Ni 및 은 Ag의 표면에 멀티 아크 또는 마그네트론 스퍼터링.

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