진공 펌프 펌핑 속도 및 진공 장치 구성! 물론 실용적입니다.
Mar 08, 2019| 진공 펌프 펌핑 속도 및 진공 장치 구성! 물론 실용적입니다.
다른 진공 시스템은 다른 진공도를 필요로합니다. 따라서 일련의 진공 장치, 즉 함께 연결된 서로 다른 압력 범위의 진공 펌프에서 작업하여 완료해야하는 경우가 종종 있습니다.
고진공 측의 진공 펌프는 시스템의 요구되는 진공도를 달성 할 수 있으며 저 진공 측의 진공 펌프는 대기 중으로 직접 배출됩니다. 분명히 가장 간단한 진공 장치는 대기로 직접 들어가는 진공 펌프입니다. 그러나, 고진공 시스템은 일반적으로 3 스테이지 유닛을 필요로하며, 중간 진공 시스템은 일반적으로 2 스테이지 유닛을 필요로한다.
고진공 펌프 및 저 진공 펌프가 효과적인 고진공 유닛을 형성하는 것은 어렵다. 이것에는 몇 가지 이유가 있습니다. 흐름의 연속성은 그 중 하나입니다. 고진공 펌프는 전방 단의 압력 제한이 있는데, 즉 전방 단이 특정 압력보다 높으면 펌프가 정상적으로 작동하지 않습니다. 현재 단계 펌프가이 임계 압력에 도달하면 펌프 속도가 종종 감소하여 전 단계 펌프의 배기 흐름이 주 펌프의 배기 흐름보다 적을 수 있고 일관성없는 흐름이 흐름 연속성 요구 사항을 파괴하므로 필연적으로 진공 장치가 제대로 작동하지 않을 수 있습니다. 그러나 고진공 및 저 진공 펌프가 중간 진공 펌프와 연결되면 연결 역할, 연속 흐름을 재생할 수 있으며 각 펌프는 최상의 상태로 작동 할 수 있습니다. 뿌리 펌프는 진공 범위에서 작동 할 수 있으며, 압축비가 높지 않기 때문에 뿌리 부스터 펌프라고도하며 가장 적합합니다. 단지 수 Pa 범위의 몇 Pa에 연결할 수 있습니다. 3 단 고진공 유닛이 더 높은 진공도로 진입하면, 주 펌프의 배기 흐름이 명백하게 감소되고,이 때, 더 작은 전단 단 펌프 만이 종종 공기 추출의 연속성을 유지할 수 있으며, 이는 종종 사용된다 실제로, 장치의 에너지 소비를 줄이기 위해.
고 진공 장치가 종종 3 단 장치를 필요로하는 또 다른 이유는 고진공 펌프의 흡입 압력의 제한 때문입니다. 모든 펌프는 초기 작동 압력을 가지며 기존의 고진공 펌프는 수 Pa 범위에 있습니다. 따라서 프리 펌프는 작업을 시작하기 위해 메인 펌프의 압력으로 사전 펌핑되어야합니다. 그러나 대기압의 압력으로 펌핑되기 전에 직선 레벨은 종종주기적인 진공 흡입 장치의 경우 펌프의 펌핑 속도를 감소시키는 압력이 진공도의 요구 사항을 충족시키기 때문에 종종 긴 시간이 필요합니다. 작업 시간은, 따라서 진공 펌프, 진공 펌프가 낮은 시간에 달성 할 수있는 낮은 수준으로 taichung을 증가 따라서 작업의 진공 학위 시간의 긴 기간도 연기, 긴이며, 메인 펌프는 스트레스를 작업 할 수 있습니다, 그래서 우리는 가능한 한 빨리 작업 압력으로 시스템을 만들 수 있으며, 장비의 효율성을 보장합니다.
뿌리 펌프와 오일 부스터 펌프는 모두 중간 진공 펌프로 사용할 수 있습니다. 분자 부스터 펌프는 매우 높은 압축비를 가지고있어 깨끗한 진공을 얻을 수있을뿐만 아니라 우수한 고진공 성능을 제공합니다. 동시에, 그것은 또한 중간 진공 범위에서 슈퍼 펌핑 용량을 가지고 있습니다. 이것은 분자 부스터 펌프가 현재 중간 및 고진공 성능을 가진 유일한 진공 펌프이기 때문에 저 진공 펌프와 협력하여 3 단 고진공 유니트에 필적하는 성능을 형성 할 수 있습니다. 특히, 분자 부스터 펌프는 고압이기 때문에, 이전의 펌프가 높은 유동 상태에있게 쉽게 할 수있다. 그리고 분자 부스터 펌프 흡입 고압, 펌프의 사전 펌핑 부담을 줄일 수 있습니다. 분자 부스터 펌프는 100-50pa, 기본적으로 각 시간의 법칙에 따라 압력의 법칙에 따라 펌프의 첫 번째 단계에 이르기까지 대기압에서 작동 할 수 있으므로 크기의 순서에 따라 단위가 높은 추출 효율을 가질 수 있습니다. 고진공 유닛을 단순화하고 뿌리 펌프를 취소하는 것은 분자 부스터 펌프의 또 다른 이점입니다. 보다 큰 고진공 응용 장비의 경우, 전단 단계 펌프의 사전 펌핑 용량을 적절하게 강화하여 펌핑 시간을 더 단축 할 수 있습니다. 사전 펌핑 시간은 전체 배기 공정에 비해 매우 짧기 때문에 전단 단계 펌프의 사용 시간도 매우 짧기 때문에 여러 장비 세트의 사전 펌핑 기능으로 두 배가 될 수 있습니다. 현실적. 이로써 진공 장치의 대규모 적용이 크게 단순화되었습니다.
일부 중 진공 응용 분야에서는 뿌리 펌프의 2 차 장치에 대해 실현하기 어려운 경우가 종종있는 10-1pa의 범위를 입력해야하며 루츠 펌프와 함께 연결된 2 차 장치의 사용은 크기의 순서와 10-1pa 입력, 그래서 진공 응용 프로그램은 일반적으로 3 차 단위에서 사용됩니다. 분자 부스터 펌프는 10-1pa로 완전히 펌핑 될 수 있으므로 3 단계 중간 진공 장치의 2 단계 루츠 펌프를 대체 할 수도 있습니다. 일반적으로, 뿌리 펌프의 저압 범위의 진공에서 일하는 장시간, 분자 승압기 펌프는 완전하게 대체 될 수있다. 그리고 루츠 펌프의 고진공 압력 범위에서 작동하는 오랜 시간은 상대적으로 작아야합니다. 왜냐하면 펌프 이전의 압력 범위는 종종 펌핑 속도가 빠르기 때문입니다.
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