스퍼터 링 이란 무엇입니까?

스퍼터 링 에너지 입자, 특히 가스 이온 실험실에 의해 대상의 폭격으로 인해 고체 대상 물질에서 입자는 배출 하는 그것에 의하여 과정 이다. 그것은 들어오는 입자의 운동 에너지는 기존의 열 에너지 (1 eV) 보다 훨씬 높은 경우 발생 합니다. 이 프로세스는 장기간된 이온 또는 소재, 재료의 중요 한 침식의 플라즈마 폭격 하는 동안 발생할 수 있습니다 하 고 따라서 해로울 수 있습니다. 다른 한편으로, 그것은 일반적으로 용 박막 증 착, 에칭 및 분석 기법. 스퍼터 링 하거나 이루어집니다 DC 전압 (DC 스퍼터 링)을 사용 하 여 또는 AC 전압 (RF 스퍼터 링)을 사용 하 여. DC 스퍼터 링에 전압은 3-5 kV에서 설정 및 RF 스퍼터 링, 전원 설정에서 14 MHz. 교류 전류의 응용 프로그램 때문, 플라즈마 내의 이온 플라즈마의 수준에 있는 증가 결과로 흔들 리 다.

스퍼터 링의 물리학

실제 스퍼터 링이온과 충돌 때문에 대상 물자에 있는 원자 사이 기세 교환에 의해 구동 됩니다.

사건 이온 충돌 폭포는 대상에 설정합니다. 이러한 계곡 반동 표면 결합 에너지 보다 큰 에너지와 대상 표면에 도달 하는 때 원자 방출 될 것 이라고, 그리고이 과정 스퍼터 링으로 알려져 있다. 대상이 원자 가늠 자에 얇은 경우 충돌 폭포는 대상의 뒷면을 도달할 수 있다 고 원자 "전송"에서 지상 결합 에너지를 피할 수 있습니다. 사건 이온 당 표적에서 분출 하는 원자의 평균 수는 스퍼터 수확량 불리고 이온 사건 각, 이온의 에너지, 이온과 표적 원자의 질량 및 대상에서 원자의 표면 결합 에너지에 따라 달라 집니다. 결정 대상 대상 표면에 관하여 결정 축의 방향에 대 한 관련입니다.

스퍼터 링 프로세스에 대 한 기본 입자는 여러 가지 방법으로 제공 될 수 있습니다: 플라즈마에 의해 예는이온 소스, 가속기 또는 알파 입자를 방출 하는 방사성 물질에 의해.

무 조직 편평한 표적을 위한 폭포 정권에서 스퍼터 링을 설명 하기 위한 모델은 톰슨의 분석 모델. 높은 에너지에 벗기는 전자를 포함 한 양자 기계적 치료에 따라 스퍼터 링을 시뮬레이션 하는 알고리즘 프로그램 트림에에서 구현 됩니다.

실제 스퍼터 링의 다른 메커니즘은 열 스파이크 스퍼터 링. 이 고체, 밀도 이며 다음 들어오는 이온 헤비, 충돌 발생 매우 서로 가까이 때 발생할 수 있습니다. 다음 이진 충돌 근사는 더 이상 유효한, 그러나 오히려 collisional 과정 다 몸 과정으로 이해 되어야 한다. 조밀한 충돌 기본적으로 로컬로 크리스탈 녹는 열 스파이크 (또한 불리 운된 열 스파이크), 유도. 녹은 영역 표면에 충분히 가까운 경우에, 다 수 원자의 표면 또는 microexplosions 액체의 흐름으로 인해 스퍼터 수 있습니다. 열 스파이크 스퍼터 링 하는 것은 케빈-백만 전자 볼트 범위 폭격에 에너지 밀도가 낮은 녹는점 (Ag, Au, Pb, 등)와 부드러운 금속 하지만 (Xe 또는 Au 또는 클러스터 이온 말) 무거운 이온에 대 한 가장 중요 한. 열 자주 증가 되 에너지, 스퍼터 링 스파이크 그리고 작은 클러스터 이온에 대 한 10000의 순서의 클러스터 당 극적인 스퍼터 링 수율으로 이어질 수 있습니다.

실제 스퍼터 링 샘플 원자에 이온의 최대 에너지 전송 표면 원자의 결합 에너지를 같게 하는 이온 에너지 보다 크거나 잘 정의 된 최소 에너지 임계값이 있다. 이 임계값 범위에서 일반적으로 어딘가에 10-100 eV.

우선 스퍼터 링 multicomponent 단단한 표적을 폭격 하 고 아무 고체 확산 시작 발생할 수 있습니다. 에너지 전송 대상 구성 요소 중 하나에 더 효율적인 경우 솔리드에 바인딩된 덜 강력 하 게, 그것은 다른 것 보다 더 효율적으로 스퍼터 것입니다. B 같은 스퍼터 링은 확률 증가 경우 구성 요소 A는 우선적으로 스퍼터 링 하는 AB 합금에서 고체의 표면, 머리말 붙인된 사격 동안 될 농축 B 구성 요소에는 스퍼터 링된 재료의 구성 궁극적으로 AB.로 돌아갑니다.