DLC 코팅의 열 안정성

열 안정성DLC 코팅의

DLC는 준안정 물질이기 때문에 열적 안정성이 떨어지는 것이DLC 필름 적용. 섭씨 300도 이상에서 어닐링하면 SP3 본드에서 SP2 본드로의 전환이 발생합니다. 따라서 열 안정성을 향상시키기 위해 많은 노력을 기울였습니다. 연구에 따르면 Si의 추가는 DLC 필름의 열 안정성을 크게 향상시킬 수 있으며 SP3 결합에서 SP2 결합으로의 변환은 20 at% Si를 포함하는 DLC 필름이 740℃에서 어닐링될 때만 발생합니다. 마찬가지로 금속(Ti, W, Cr 등)의 혼입도 DLC 필름의 열안정성을 향상시킬 수 있으며, 이에 대한 연구를 진행하고 있습니다.

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