ALD의 작동 원리
May 08, 2023| 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition)은 기판 표면을 표면과 반응하는 기체 전구체에 노출시켜 단일 물질 층을 증착하는 방식으로 작동합니다. 그런 다음 프로세스는 첫 번째 단층과 반응하는 두 번째 전구체로 반복되어 두 번째 단층의 증착 등으로 이어집니다. 이 공정은 원하는 필름 두께와 구성을 얻기 위해 필요한 만큼 반복할 수 있습니다.
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