X선 광전자 분광법(XPS)

XPS는 박막의 원소 조성과 화학적 상태를 분석하는 데 사용되는 표면 민감성 기술입니다. 이 기술은 필름 표면에 X선을 조사하여 표면층의 전자를 방출하는 방식으로 작동합니다. 그런 다음 방출된 전자를 분석하여 필름의 원소 구성과 화학적 상태를 결정합니다.

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