- 제품 소개
소개
질량 유량계 (MFC)는 유량 센서, 유량 분배기 바이 패스 및 인쇄 회로 기판의 세 가지 기본 장치로 구성되어 있으며 온도 변화로 인해 가스 볼륨이 변동하는 것을 방지하기 위해 질량 유량을 정확하게 측정합니다. MFC는 반도체 및 IC 제조, 특수 재료 과학, 화학 산업, 석유 산업, 제약 산업, 환경 보호, 진공 시스템 연구 등의 분야에 널리 응용되고 있습니다.
일반적인 응용 분야
MFC의 대표적인 응용 분야는 확산, 산화, 에피 택시, CVD, 플라즈마, 에칭, 스퍼터링, 이온 주입과 같은 마이크로 전자 공정 장비와 진공 증착 장비, 광섬유 용융, 미세 반응 장비, 혼합 및 정합 가스 시스템 , 모세관 유동 제어 시스템, 가스 크로마토 그래프 및 기타 분석 장비.
D07-7KM MFC는 고정밀, 긴 수명, 탁월한 재현성, 빠른 응답, 소프트 스타트, 우수한 신뢰성, 넓은 작동 압력 범위 (고압 또는 진공 상태에서의 양호한 작동), 쉽고 편리한 작동 등의 장점을 가지고 있습니다. 자동 제어를 실현하기 위해 필요할 때마다 설치하고 컴퓨터와 연결할 수 있습니다.
사양
흐름의 범위 | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM |
정확성 | ± 1.5 % FS |
선형성 | ± 1 % FS |
반복성 | ± 0.2 % FS |
응답 시간 | ≤4 초 |
온도 계수 | 제로 : ≤ ± 0.1 % FS / ℃, 스팬 : ≤ ± 0.2 % FS / ℃ |
최대 압력 | 3MPa |
작동 온도 | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
씰링 소재 | 바이 톤, 네오프렌 |
설정 / 출력 신호 | 0V ~ + 5.00V (입력 임피던스> 100K, 출력 전류 ≤3ma) |
전원 공급 장치 | + 15V 50mA -15V 50mA |
전기적 연결 | D 서브 15 핀 암 |
차압 | <0.01> |
누설 률 | 1 × 10-8atm • cc / sec He (1 × 10-9 Pa • m3 / sec He) |
표준 조인트 | SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (내부) × 1 호스 커플러, VCR1 / 4", Swagelok 1/4 ", φ6 (내부) × 1 호스 커플러 |
미디어 | 모든 가스 |
에미 | CE |
무게 | 0.92kg |
설치 크기
당신은 또한 좋아할지도 모릅니다
