- 제품 소개
IKS - VH1300 연속 장식 필름 코팅 기계
장비 응용
다중 아크 이온 코팅 및 마그네트론 스퍼터링 코팅의 연속 장착 .IKS-VH1300 연속 장식 필름 코팅 기계 로 표면 장식 필름 대량, 신속하고 안정적인 생산을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 연속 다단식 연속 도금 장치입니다. 멀티 아크 스퍼터링 소스 및 마그네트론 스퍼터링 소스를 기반으로하는 연속 코팅 시스템입니다. TiC (흑색), TiN (금 황색), TiCN (청회색), CrN (은 - 황색), CrN (흑색) 회색), TiAlN ( 아마란스
), AlTiN (atropurpureus), TiAlCrN (회색), TiAlCrN (빨간색) 및 AlCrN (회색 검정).
생산 라인 설계
대량의 빠르고 안정적인 생산을 달성하기 위해 다수의 독립적 인 공정 챔버 섹션 (최소 3 개 챔버)으로 구성된 연속 장식 필름 코팅기. 프로세스 요구 사항에 따라 모든 챔버 섹션은 독립적 인 프로세스를 완료 할 수 있습니다.
그것은 독립적 인 기판 홀더의 출입 챔버, 독립 슬릿 밸브에 의한 진공 격리, 전송 시스템 자동 연속 전송 트레이의 설계를 채택합니다. 코팅은 제어 시스템에 의해 자동으로 수행됩니다.
독립적 인 기판 홀더와 챔버 및 코팅 챔버를 갖춘 진공 시스템이있어 공정 안정성과 기판의 환경 청결을 보장합니다.
기술적 특징
1. 작동 : 자동 / 반자동, 작동하기 쉽습니다. | 7. 열 제어 : 챔버 -300 ℃ |
2. 연속 흡입구의 비트 작업 물 랙 : 간격은 2 분 미만입니다. | 8.Cleaning : 형광등 청소 |
3. 스퍼터링 소스 : 6 세트 멀티 아크 스퍼터링 시스템 | 9. 가열 : 히팅 파이프를 가열로에 넣습니다. 모든 챔버의 예약 된 12PCS 1.5kw 가열 |
4. 스퍼터링 소스 : 8 개 양극 원통형 스퍼터링 | 10. 회전 목마 : 10 축 회전 및 회전 홀더 포함 |
5. 도막 : 스테인리스 강, PC, PET, 유리 등의 표면에 도막을 증착 | 11.Process Control : 소프트웨어는 PLC에 의해 제어되는 제어 매개 변수를 생성합니다. |
6. 진공 : Melecolure 펌프 + Roots 펌프 + Rotary Vane 펌프 |
기술 파라미터
1. 효과적인 설치 공간 : W4200 × L8000 × H4600mm | 8. 전처리 : 12 개 4.5KW 난방, 1 호실 |
2. 진공 챔버 : W1300 × L1300 × H1500mm | 9. 후 처리 : 유량 게이지 제어 분위기 어닐링 |
3. 로딩 : 10 축 회전 Ф150 × H890mm | 10. 진공 차단 : 슬릿 밸브, W720 × H1100 |
4. 다중 아크 소스 : 6 × Ф 100 다중 아크 소스, 챔버 1 번 | 11.Pow 출처 : 380V 50Hz |
5. 스퍼터링 : 8 × Ф 70 원주 음극, 2 번 챔버 | 12. 유지 보수 : 전면 및 후면 힌지 도어 플랜지 |
6. 진공 Rang : ATM-6X10-4 Pa | 13. 진공 시스템 : 로터리 펌프, 분자 펌프 및 슬릿 밸브 |
7. 이온 클리닝 : 바이어스 파워 클리닝, 챔버 No.1 |
장비 구조 소개
| 장비는 진공 챔버, 진공 펌프 그룹, 적재 랙 작동, 코팅 공정, 전처리 및 후 처리 등과 같은 일부 공정 섹션으로 구성됩니다. |
( 1 ) 기판 홀더를 들어오고 내리는 챔버
그것은 상자 형 챔버, 외부 크기는 W1300 × L1300 × H1500mm입니다. 25mm 두께의 SUS304 스테인리스 강판을 사용하여 어닐링으로 용접 성형, 응력 제거를 강화하십시오. 전면 및 후면 유지 보수 도어 설계 , 상단은 프로세스 장착 위치, 하단은 펌핑 시스템 설치, 왼쪽과 오른쪽은 진공 격리입니다. 챔버 내부는 공정 요구 사항에 따라 가열, 다중 아크 이온 코팅 및 형광 세척 등으로 설치할 수 있습니다. 분위기는 W720 × H1100mm 슬릿 밸브 로 챔버와 연결됩니다 . 진공 시스템은 4sets DN200 슬릿 밸브, 4 개의 FF200 / 1300 분자 펌프 및 1pc BSV90 로터리 펌프를 고진공 펌핑, 1pc ZJP300 및 1pc 2X-70을 전면 스테이지 펌핑 시스템으로 구성합니다.
( 2 ) 전면 유입구 기판 홀더
스퀘어 타입 진공 챔버 ( 외벽 냉각수 ). 크기는 W1300 × L1300 × H1500mm입니다. 펌핑을위한 분자 펌프와 연결하기위한 하단 보드 DN200 슬릿 밸브 설계. 펌핑 시스템은 4 개의 FF200 / 1300 분자 펌프와 1 개의 BSV90으로 구성되어 있습니다. 챔버의 두면은 슬릿 밸브, 전면 보드 설치 유지 보수 문으로 입구 홀더 챔버와 연결되며 3 개 검사 창과 함께 SUS304를 사용합니다. 챔버의 내벽에는 이중 경면 보드와 방오 도료가 설치되어 있습니다. 자기 유체, 자기 회전 시스템, 4 섹터 갑옷 난방 시스템으로 이끄는 하단 설치된 전송 시스템. 실린더 목표를위한 최고 8pcs Ф 70 자전 음극선은 12pcs 1.5KW 난방 설치 구멍을 예약했다. 챔버의 측면 벽은 균일 한 공기 흡입 시스템으로 설계되었으며, 두 개의 유량 게이지는 가스 혼합 탱크에 의해 챔버와 연결되며, 유량 제어에 의해 코팅 진공도를 조절합니다.
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