칼 붙이 PVD 코팅기

칼 붙이 PVD 코팅 기계, 그것은 주로 금속 필름, 내식성 필름, 초전도 필름 및 기타 특수 필름을 칼 붙이에 증착하는 데 사용되며 주로 기술은 멀티 아크입니다.

사양

진공 챔버	φ1400 × H1300	효과적인 코팅 우주	φ1100 × H1000
전압 / Hz	380V / 50Hz	실제 전력	90KW
제품의 최대 직경 × 품질	φ180 × 16 개	표준 구성	12 아크 소스 + 중간 주파수 4 쌍
과학 기술	중간 주파수 + ARC; 평면 타겟 + 이온 소스 (선택 사항)	표적	중간 주파수 마그네트론 원통형 타겟 8 개 / 아크 타겟 6 개
궁극적 인 압력	5.0×10^-4아빠	누출 율	GG lt; 10^-3Pa.L / s
펌프 다운 시간	(atm.에서 4X10^-3Pa) ≤20 분	직업 공간	L3800 × W3900 × H2300MM
워크 피스 턴테이블	하부 프레임 구조	진공 챔버 구조	수직 단일 개방
전원	DC 인버터 전원, 펄스 바이어스 전원 공급 장치, 중간 주파수 마그네트론 전원 공급 장치, DC 마그네트론 전원 공급 장치	진공 시스템	분자 펌프, 루츠 펌프, 로터리 베인 펌프
코팅주기	0.5 ~ 2 시간 / 가로	작동 가스	Ar, N₂, O₂, C₂H₂등
작동 모드	수동 + 반자동 + 완전 자동 / 토치 화면 + PLC	필요한 정황	순환 수 압력 : 2-3KG / CM³ 흐름 : 10T / H 압축 공기 : 4-6KG / CM³
비고	Furnace, Outlook 및 기타 매개 변수는 요구 사항에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다.

풍모

● 도막 두께의 제어 성과 반복성이 우수합니다. 코팅층은 설계 두께를 쉽게 얻을 수 있으며 넓은 표면에 균일 한 필름을 증착 할 수 있습니다.

● 수저와 필름 사이의 강한 접착력.

● 칼 붙이 PVD 코팅기는 특수 재료의 필름뿐만 아니라 혼합 필름 및 복합 필름을 증착 할 수 있습니다.

● 전기 제어 시스템은 수동, 반자동, 또는 전자동으로 제어 할 수 있으며 기계는 높은 신뢰성으로 다양한 프로세스를 실행할 수 있습니다.

장식 코팅의 특성

IP 시리즈