
- 제품 소개
챔버 크기 | φ1900 * H1300 | 유효 공간 | φ1600 * H1000 |
궁극적 인 압력 | 5.0 * 10 -4 Pa | 누출 율 | <> -3 Pa.L / s |
표준 코팅 | IP 블랙, 로즈 골드, IP 골드, 사파이어 블루, 샴페인 골드, 은색, 갈색, 화려한, 총 블랙, 지르코늄, 로즈 레드 등 | 표준 구성 | 10 음극 아크 / MF 원통형 타겟 12 개 |
전압 / Hz | 380V / 50Hz | 실제 전력 | 120KW |
과학 기술 | MF + ARC (선택 사항) | 대상 수량 | 12 원통형 타겟 / 10 아크 타겟 |
전원 공급 장치 | MF 마그네트론 스퍼터링 파워 공급 ; DC 펄스 바이어스 전원 공급 장치 ; 특수 진공 아크 전원 공급 장치 | 진공 시스템 | 분자 펌프 루츠 펌프 로터리 베인 펌프 |
코팅주기 | 1.5-3.5 시간 / 노 | 직업 공간 | L3600 * W3200 * H2600mm |
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