연속 증발 코팅기
장비 응용, 대 면적 연속 전자총 증발 광전 필름, 광학 필름 및 지문 방지 필름. IKS-OPT2050 Continuous Evaporation Coating Machine은 대 면적 광학 필름 코팅 및 단층 표면 개질 필름의 대량 생산을 신속하게 실현하도록 설계되었으며, 연속 투입 형 다중 챔버 코팅기이며, 코팅 시스템이며, 이중 전자총은 다층 광학 필름에 재료 코팅을 증발시킨다. 이 장비의 주요 제품은 가시광 컬러 필름, 알루미늄 미러 필름, AF 지문 방지 필름, 저 융점 유기물 필름, 가시광 선 필름 등의 증착 필름 다층 광학 유전체 필름, 지문 방지 필름 등입니다. 빛 분할 필름, 가시 광선 반사 방지 필름 등을 포함 할 수 있으며 특정 단순 광학 필름 생산을위한 생산을 디버그 할 수도 있습니다.
- 제품 소개
엘 연속 증발 코팅기 IKS-OPT2050 수직 형
· 대량 생산, 고품질 및 신속한 생산을 위해 연속 도장 기는 멀티 홀 전자총이있는 한 세트와 증발 시스템으로 증발기로 연속 공급되는 한 세트를 갖추고 있습니다.
· 연속 코팅기는 독립적 인 작업 편 랙 입출구 챔버 설계, 독립 게이트 밸브에 의한 진공 격리, 이송 시스템 연속 자동 배출 트레이 시스템, 제어 시스템 자동 회전 및 코팅 완료를 채택합니다.
· 프리 코팅 및 진공 코팅 공정을 분리하고, 작업주기를 향상 시키며, 작업 편 랙 입구 및 출구의 공정 안정성 및 환경 청결을 보장하기 위해 독립적 인 작업 편 랙 입출구 챔버 및 코팅 챔버를 갖추고 있습니다. 콘센트.
기술적 특징:
1. 작동 : 작동하기 쉬운 자동 / 반자동
2. 연속 입구의 비트 작업 물 랙 : 간격 2 분 미만
3. 증발원 : 멀티 홀 전자식 증발 시스템 한 세트
4. 증발원 : 연속 공급 식 저항 증발 시스템 1 세트
5. Film Coating : 다양한 컬러 광학 필름 및 Anti-fingerprint 필름
6. 정밀도 제어 : INFICON XTC3 / S
7. 진공 : 분자 펌프 + 뿌리 펌프 + 로터리 펌프
8. 냉각 : 3 개의 초저온 콘덴서 커넥터
9. 코팅 필름 : 다층 광학 유전체 필름, 지문 방지 필름
10. 이온 소스 : 홀 소스, 전력 4KW
11. 난방 장치 : 히터에 가열식 전열관을 사용합니다.
12. 공작물 랙 : 연속 입력 공작물 회전 랙
13. 공정 제어 : TFC 박막 시스템 설계 소프트를 채택하여 제어 파라미터를 생성 한 후 PLC 실행 제어
기술 파라미터 :
1. 효과적인 설치 공간 : W8500XL4500XH3400mm | 8. 증착 속도 : XTC3 / S, 0.5nm 정밀도 |
2. 진공 챔버 : W2050XL2050XH1800mm | 9. 워크 피스 랙 입구 및 출구의 챔버 : 가열, 세척 및 전처리, 후 처리 모듈을 설치할 수 있습니다. |
3.Loading : Ф1900XH50mm 스테인레스 우산 꽂이 | 10. 진공 : 유량 게이지와 니들 밸브가 공정 가스를 제어합니다. |
4. 표적 물자 : 다 구멍 전자총, 구리 냉각수의 1 세트 | 11. 전원 : 220V 50HZ |
5. 증발 : 연속 식 증발 시스템 한 세트 | 12. 외부 플랜지 : KF16 및 KF25 |
6. 진공 Rang : ATM-6X10 -4 Pa | 13. 진공 시스템 : 로터리 펌프, 루츠 펌프 및 분자 펌프 |
7.Ion 출처 : 홀 이온 소스, 4KW |
장비 구조 소개 :
장비는 진공 챔버, 진공 펌프 그룹, 적재 랙 작동, 코팅 공정, 전처리 및 공정 가스 제어 시스템으로 구성됩니다.
(1) 상자 형 진공 챔버이며, 크기는 W2110XL2110XH450mm입니다. 용접 및 성형을 강화하기 위해 SUS304 스테인레스 강판 (두께 30mm)을 사용하십시오. 어닐링으로 스트레스 해소. 액세스 도어는 상단에 설계되었습니다. 공정 요건에 따라, 챔버는 가열, 플라즈마 등과 같은 전처리 공정을 설치할 수있다. 공기는 게이트 밸브 (W2100XH1500mm)로 처리 챔버와 연결됩니다. 진공 시스템은 배기 세트에 4 세트의 FF250 / 2000 분자 펌프, 1 세트 BSV90,1 세트 ZJP600 및 2 세트 2X-70으로 구성됩니다 .1 세트 저온 콜드 트랩 사용 가능 선택하기.
(2) W2050XL2050XH1800mm 사각 진공실 (외벽 냉각수). 후면 판은 분자 펌프 배기 공기를 연결하는 고압 밸브를 설계하였습니다. 펌프 시스템은 8 세트의 FF250 / 2000 분자 펌프, 1 세트 ZJP300 및 1 세트 2X-70로 구성됩니다. 챔버의 두 측면은 게이트 밸브에 의해 워크 피스 입구 및 출구 랙 챔버와 연결됩니다. 액세스 도어는 전면 보드, 2 개의 검사 창과 함께 SUS304 스테인레스 스틸에 설치합니다. 챔버의 내벽에는 이중층 미러 보드와 방오 (anti-fouling) 보드가 설치되었습니다. 상단 장착 된 자성 유체 이송 시스템, 자기 회전 시스템, 4 섹터면 시스 히팅 시스템 및 균일 조정 보드. 하단 설치 1 세트 8 구멍 구리 도가니 전자 총 증발 시스템, 1 세트 자동 구리 전극 저항 증발 시스템, 1 세트 홀 이온 소스 지원 증착 시스템, 1 세트 XTC3S 코팅 필름 두께 학위 제어 시스템, 2 세트 조절 유니폼 조정 접시를 설정합니다. 챔버의 측면은 균일 한 공기 흡입 시스템을 설계하였으며, 두 가지 방식으로 혼합 가스 탱크를 통해 유량계를 연결하여 두 가지 방식으로 흐름 제어로 코팅 진공도를 조정합니다.
(3) XTC3 / S에 의한 다층 박막 시스템을 설계하고, 제어 파라미터를 생성하고, PLC를 통해 박막층 두께 증착을 제어하는 유연한 박막 시스템 설계를 채택하십시오.
장비 신청 :
· 대 면적 연속 전자총 증발 광전 필름 , 광학 필름 및 지문 방지 필름. IKS-OPT2050 Continuous Evaporation Coating Machine 은 대 면적 광학 필름 코팅 및 단층 표면 개질 필름의 대량 생산을 신속하게 실현하도록 설계되었으며, 연속 투입 형 다중 챔버 코팅기이며, 코팅 시스템이며, 이중 전자총은 다층 광학 필름에 재료 코팅을 증발시킨다. 이 장비의 주요 제품은 가시광 컬러 필름, 알루미늄 미러 필름, AF 지문 방지 필름, 저 융점 유기물 필름, 가시광 선 필름 등의 증착 필름 다층 광학 유전체 필름, 지문 방지 필름 등입니다. 빛 분할 필름, 가시 광선 반사 방지 필름 등을 포함 할 수 있으며 특정 단순 광학 필름 생산을위한 생산을 디버그 할 수도 있습니다.
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