고진공 펌프 그룹

고진공 펌프 그룹
고진공 펌프 그룹은 분자 흐름 상태에서 작동하며, 저진공 유닛에 비해 작동 압력(10-2 ~ 10-6Pa)이 낮고 배기량이 적으며 펌핑 속도가 큰 특징이 있습니다. . 본 장치의 메인 펌프로는 일반적으로 확산펌프, 확산부스터 펌프, 분자펌프, 티타늄 승화펌프, 저온 응축펌프 등이 있습니다. 이러한 펌프는 대기 중에서 직접 작동할 수 없으므로 프리펌핑 펌프 구성이 필요합니다. 및 전단 펌프 및 일부 확산 펌프에는 시스템의 압력 변동을 방지하고 장치의 펌핑 성능을 향상시키기 위해 전단 유지 관리 펌프 또는 가스 탱크가 장착되어 있습니다.

IKS PVD 회사, 장식 코팅 기계, 도구 코팅 기계, DLC 코팅 기계, 광학 코팅 기계, PVD 진공 코팅 라인, 턴키 프로젝트가 가능합니다. 지금 문의하세요. 이메일: iks.pvd@foxmail.com