이중 루트 펌프를 메인 펌프로 사용하는 중간 진공 장치
Oct 05, 2023| 이중 루트 펌프를 메인 펌프로 사용하는 중간 진공 장치
진공 유닛의 펌핑 성능을 향상시키기 위해 하한 압력을 달성하고 낮은 입구 압력에서 펌핑 속도 특성을 향상시키며, 대형 진공 유닛에 대해 더 작은 크기의 프론트 펌프를 사용하는 3단 펌프 그룹으로 구성됩니다. 그림 5-8 및 5-9에 표시된 것처럼 주 펌프로 직렬로 연결된 두 개의 ZJ 루츠 펌프를 형성할 수 있습니다.
▲ 그림 5-8 2단계 루츠 펌프 연료 공급 씰 기계식 펌프
▲ 그림 5-9 2단계 루츠 펌프와 워터 링 펌프 장치
IKS PVD 회사, 장식 코팅 기계, 도구 코팅 기계, DLC 코팅 기계, 광학 코팅 기계, PVD 진공 코팅 라인, 턴키 프로젝트가 가능합니다. 지금 문의하세요. 이메일: iks.pvd@foxmail.com
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