중진공 펌프 그룹

중진공 펌프 그룹

중진공 유닛의 작동압력 범위는 약 100Pa ~ 0.1Pa이며 일반적으로 사용되는 메인 펌프는 오일 부스터 펌프, 기계식 부스터 펌프 등이며, 이 유닛은 다양한 진공 시스템에 적합합니다. 큰 펌핑 속도와 저진공 및 고진공 획득. 코팅 기계, 진공 제련, 진공 열처리, 화학 산업, 의학, 전기, 용접 및 기타 산업에서 널리 사용될 수 있습니다.

A 루츠 펌프 - 오일 씰 기계식 펌프 장치
그림 5-6은(는) 루츠 펌프를 메인 펌프로, 오일 씰 기계식 펌프를 전면 펌프로 사용하는 중진공 획득 장비입니다. 전체 장치를 랙에 배치할 수 있어 구조가 콤팩트하고 사용이 쉽습니다.

▲ 그림 5-6 루츠 펌프 연료 공급 씰 기계식 펌프 장치: (a) 루츠 펌프 챔버를 통해 사전 펌핑된 장치 (b) 바이패스 사전 펌핑 파이프라인이 있는 장치

▲ 그림 5-7 워터 링 펌프 장치가 있는 루츠 펌프: (a) 루츠 펌프 챔버를 통해 사전 펌핑된 장치 (b) 바이패스 사전 펌핑 파이프라인이 있는 장치

ZJ형 일반 루츠 진공 펌프를 장치의 메인 펌프로 선택하거나 바이패스 차압 밸브가 있는 루츠 펌프를 선택할 수 있습니다. 전자는 시스템이 루츠 펌프에서 허용하는 시작 압력으로 펌핑될 때 주 펌프를 시작해야 합니다. 후자는 바이패스 차압 밸브가 있는 루츠 펌프이기 때문에 루츠 펌프는 과부하 및 과열 현상 없이 더 높은 입구 압력으로 이송될 수 있으므로 실제 상황에 따라 작업 후 메인 펌프가 전면 펌프에 있을 수 있습니다. 시작 압력을 결정하는 시스템입니다. 소형 장치의 경우 두 개의 펌프를 동시에 가동하여 펌핑 속도를 높이고 펌핑 시간을 단축할 수도 있습니다.

IKS PVD 회사, 장식 코팅 기계, 도구 코팅 기계, DLC 코팅 기계, 광학 코팅 기계, PVD 진공 코팅 라인, 턴키 프로젝트가 가능합니다. 지금 문의하세요. 이메일: iks.pvd@foxmail.com