워터 링 펌프와 오일 씰 기계식 펌프가 결합된 2단계 루츠 펌프

워터 링 펌프와 오일 씰 기계식 펌프가 결합된 2단계 루츠 펌프

그림 5-10은 2단 ZJ 루츠 펌프, 1단 워터 링 펌프(제한 압력 P0=6700Pa) 및 가스 밸러스트 오일 씰 기계식 펌프로 구성된 진공 장치를 보여줍니다. 압력은 10-2Pa에 도달할 수 있습니다. 다량의 수증기를 펌핑해야 할 경우 밸브 8을 닫고 수링 펌프를 닫아 원유 펌핑 펌프와 전면 펌프를 수행하고 수증기 부분압이 300~1300Pa에 도달하면 밸브 5를 닫고 밸브 8을 엽니다. 가스 밸러스트 기계식 펌프를 사용하여 전면 펌프를 수행하십시오.

▲ 그림 5-10 워터 링 펌프와 오일 씰 기계식 펌프 장치가 포함된 2단계 루츠 펌프: 1-콘덴서 2-ZJ600 루츠 펌프 3-ZJ150 루츠 펌프 4- 원유 펌프 5-프론트 밸브 1 6-ZSK3 워터 링 펌프 7-2H70 슬라이드 밸브 펌프 8-프론트 밸브 2

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