분자 펌프의 작동 원리를 해독하는 비디오
Aug 06, 2019| 분자 펌프의 작동 원리를 해독하는 비디오
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분자 펌프는 어떻게 작동합니까?
작동 원리:
분자 펌프의 펌프 메커니즘은 공기를 추출하기 위해 펌프 챔버 볼륨의 변화에 의존하는 기계적 펌프의 메커니즘과 다릅니다.
분자 펌프는 모터에 의해 구동되어 고속으로 회전합니다. 분자 흐름 영역에서 가스 분자는 고속 블레이드 표면과 충돌하고 운동량은 가스 분자로 전달되어 일부 가스 분자가 강체 표면의 방향으로 이동하여 펌프에서 배출됩니다. 공기 추출의 목적을 달성하기 위해. 일반적으로 가스 분자를 운반하기 위해 강체 표면의 고속 이동과 함께 트랙션 분자 펌프 (gad pump)로 알려진 진공 펌프로 만들어진이 현상을 사용하여 분자 트랙션 현상으로 알려진 현상의 특정 방향으로 움직이게합니다. 트랙션 분자 펌프의 장점은 시작 시간이 짧고 분자 흐름 상태에서 압축률이 높으며 모든 종류의 가스와 증기를 제거 할 수 있으며 특히 무거운 가스를 추출하는 데 적합합니다. 그러나, 트랙션 분자 펌프 펌핑 속도가 작기 때문에, 밀봉 갭이 너무 작고, 작업 신뢰성이 불량하고, 기계적 고장이 용이하며, 제조상의 어려움이 실제로 거의 사용되지 않는다. 나중에, 트랙션 분자 펌프가 개선되었고 터보 분자 펌프가 나타났다.
터보 분자 펌프는 다수의 교 번식 회 전자 블레이드 및 고정식 회 전자 블레이드를 포함하고,도 1에 도시 된 바와 같이, 각 블레이드에는 특정 각도로 많은 경사 블레이드가있다. 실제 터보 분자 펌프는 다단 캐스케이드, 즉 작동 블레이드, 고정 블레이드 및 이동 블레이드가 교대로 배열되어 구성된다. 움직이는 블레이드는 회전 할 때 선풍기 블레이드처럼 작동하여 가스를 한쪽에서 다른쪽으로 펌핑합니다. 분자 펌프의 속도를 증가시키는 것은 분자 펌프의 펌핑 속도를 향상시키는 데 유리하다. 블레이드의 속도 제한 때문에 가스 분자가 더 빨리 움직이면 진공 펌프가 더 어렵습니다.
터보 분자 펌프는 일종의 기계식 진공 펌프라는 것을 알 수 있습니다. 고속 회전 다단 터빈 로터 블레이드와 정적 블레이드의 조합은 공기 추출에 사용되며, 이는 필요한 진공 성능을 얻기 위해 분자 유동 영역에서 추출 된 가스에 대해 높은 압축비를 생성합니다. 터보 분자 펌프의 궁극적 인 진공은 확산 펌프보다 높으며 최대 10 ^ -8pa입니다. 정상 작동에서, 프론트 스테이지의 특정 진공도가 요구되며, 이는 일반적으로 1 내지 200Pa 범위의 펌프에 따라 약간 변한다. 프론트 펌프로 기계식 펌프를 사용할 수 있습니다. 고진공 장치는 분자 펌프와 기계식 펌프로 구성됩니다. 터보 분자 펌프의 고속으로 인해 일반적으로 if 모터에 의해 구동되고 if 전원 공급 주파수는 300-400hz입니다. 터보 분자 펌프는 일반적으로 수냉식입니다.
복합 분자 펌프는 터보 분자 펌프와 견인 분자 펌프의 직렬 조합으로 두 종류의 펌프의 장점을 하나로 결합하며 10 ^ -6-1pa의 넓은 압력 범위에서 더 큰 펌핑 속도로 가능합니다 더 높은 압축비로 펌프의 출구 압력을 크게 향상시킵니다.
작동 조건 :
(1) 로터 속도가 20000r / min에 도달하므로 분자 펌프의 시작 시간이 비교적 길다.
(2) 가스는 분자 흐름 상태에 있으므로 프론트 스테이지 펌프가 장착되어야합니다. 일반적으로 로터리 베인 펌프는 프론트 스테이지 펌프로 사용됩니다.
분자 펌프 특징 :
오일 윤활 분자 펌프 : 윤활유의 양이 적고, 이전 단계 의 진공 섹션 에서 진공 챔버의 오염이 적습니다.
그리스 윤활 분자 펌프 : 그리스의 양이 매우 적으며, 프리 스테이지 건식 펌프는 거의 오일없이 깨끗한 진공을 얻을 수 있습니다.
전체 자기 서스펜션 분자 펌프 : 윤활이 필요 없으며 건식 펌프, 오일없이 깨끗한 진공 환경에서 사용할 수 있습니다.
다른 일반적인 응용 프로그램 :
1. 분석 (질량 분석기, 전자 현미경 등)
2. 반도체 (전자 부품, 집적 회로, 플렉시블 태양 전지 등)
3. 광학 / 유리 (열 보호, 반사 방지, 반사, 광학 필터)
4. 코팅 (표면 보호, 장식 페인트, 디스플레이, 스크린)
5. 진공 야금술 (진공로, 진공 브레이징, 진공 소결, 진공 합금)
6. 누출 감지 (진공 시스템, 차량 연료 탱크, 에어백)
7. 연구 실험 (의료 자기 공명 영상, 핵 입자 물리학, 융합 연구, 레이저 응용 등)
8. 램프 생산 산업 및 관련 산업
IKS PVD, 코팅기는 자기 부상 터보 분자 펌프를 사용합니다. PVD 진공 코팅기, iks.pvd@foxmail.com에 대한 자세한 내용을 보려면 지금 저희에게 연락하십시오.
