세라믹 표적 재료

세라믹 대상 재료

이토,아조, MgO, FeO, CrO, ZnO,ZnS,CDS, MoS，SiO2, SiO, CeO, ZrO2, Nb2O5, TiO2, ZrO2, HfO2, TiB2,ZrB2,WO3，Al2O3,Ta2O5,Nb2O5, MgF, YF, ZnSe, AlN, SiN, BN, TiN, SiC,리튬 니오바테 (), 티타네이트 프라세오디뮴,바륨 티타네이트, 라탄 티타네이트, 니오 등

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