DLC 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)

DLC 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)은 가스 탄소원을 다양한 탄소 함유 중성 또는 이온 그룹(예: CH3, CH2, CH+, C2 등)과 원자(또는 이온) 수소(H)로 분해하는 것을 의미합니다. , H+) 저압 플라즈마 방전을 통해, 탄소 함유 그룹은 기판의 음의 바이어스 하에서 기판 표면에 충격을 가하여 흡착됩니다. 동시에, 원자 수소는 구조에서 sp2 탄소를 에칭하여 sp2 및 sp3 탄소 하이브리드 구조를 갖는 수소화된 다이아몬드 유사 필름을 형성할 수 있습니다. 이 방법은 증착 매개변수를 변경하여 원료 가스의 분해 속도를 향상시키고 증착 온도를 낮추며 원하는 품질의 필름을 얻을 수 있습니다.

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