PVD 코팅 장비의 환경 요구 사항
Jan 20, 2018| 진공 코팅기 는 진공 상태에서 작동하기 때문에 장비 는 진공 환경 요구 사항 을 충족시켜야 합니다 .
진공 코팅기 (일반 기술 사양 진공 코팅 장비, 진공 이온 도금 장비 , 진공 스퍼터링 코팅 장비 및 진공 증착 장비 포함)의 산업 표준은 모두 환경에 대한 명확한 요구 사항을 제시합니다. 진공 코팅 장비의 환경 요건 만 충족하면 우수한 PVD 코팅을 생산할 수 있습니다.
진공의 환경 요구 사항은 일반적으로 공기 중 온도 및 입자와 같은 진공 장비가있는 실험실 (또는 작업장)의 환경에서 진공 장비의 요구 사항을 포함합니다. 진공 또는 진공 상태에 노출 된 구성 요소 또는 표면의 요구 사항. 이 두 측면은 밀접하게 연결되어 있습니다. 주변 환경의 품질은 진공 장비의 정상적인 사용에 직접적으로 영향을 미치며 진공 챔버 또는 챔버의 부품은 깨끗한가 아니면 장비 성능에 직접적인 영향을 미치지 않습니다. 공기가 많은 수증기와 먼지를 포함하고있는 경우 진공 챔버가 깨끗하지 않으면 금속을 부식 시키거나 진공 오일과 반응하거나 먼지가 들어있는 공기를 배출하는 것은 적합하지 않습니다. 수증기는 응축 성 가스의 일종으로 응축 성 가스가 다량으로 추출 될 때 펌프 오일의 오염이 더 심각합니다. 결과적으로 펌프 의 궁극적 인 진공도가 감소하고 펌프 의 펌핑 성능이 저하됩니다.
산업 환경의 먼지는 분말, 에어로졸 및 먼지로 구분됩니다. 분말이란 분말 또는 고체 입자의 집합을 의미합니다. 에어로졸은 고체 또는 액체 분자의 형태로 공기 중에 떠 다니는 물질 시스템입니다. 물질이 고체이든 액체이든간에 입자는 집합 적으로 먼지 입자라고 할 수 있습니다. 공기 청정도의 기준은 분진 입자의 크기에 따라 결정되고 클린 룸의 수준을 사용자 정의합니다.
진공 코팅 장비의 정상 조건 :
1. 주위 온도 : 10 ~ 30 ℃
2. 상대 습도 ≤ 70 %
3. 냉각수 입구 온도가 25 ℃ 이하
4. 냉각수는 도시 수돗물 또는 이와 동등한 물입니다.
5. 공급 전압 380V, 삼상 50Hz 또는 220V, 단상 50Hz (전기 가전 제품의 요구 사항에 따라 결정), 전압 변동 범위는 342V ~ 399V 또는 198V ~ 231V, 주파수 변동 범위는 49 ~ 51Hz .
6. 필요한 압축 공기, 액체 질소, 냉 / 온 수압, 온도 및 장비 소비는 제품 매뉴얼에 명시되어야합니다.
7. 주변 환경이 청결하고 깨끗해야하며 전기 제품 및 기타 금속 부품의 표면에 부식을 일으킬 수 있거나 금속 부품의 전기 전도성을 유발할 수있는 먼지 또는 가스가 공기에 들어 있으면 안됩니다.
또한 진공 장비가있는 실험실 또는 작업장은 테라 초나 나무 페인트 바닥으로 깨끗해야합니다. 기계식 펌프에서 배출되는 가스가 실험실 환경을 오염시키지 않도록 펌프의 배기구에 배기관 (금속 및 고무관)을 설치하여 가스를 방 밖으로 배출해야합니다.
