PVD 진공 코팅 기계의 고압 전원 공급 장치의 고장 분석

Feb 27, 2019|

PVD 진공 코팅기의 고압 전원 고장 분석

 

과학과 기술의 발달로 광전 기술의 적용은 모든 삶의 방식에 깊숙이 자리 잡고 있습니다. 진공 코팅 기계는 전자 부품 산업의 생산 및 개발에 널리 사용됩니다. 다음은 전형적인 결함의 고전압 전원 공급 장치의 진공 코팅기에 대한 간략한 소개입니다.

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결점:

1, 전자빔을 증가시킬 때, 고압은 빔 스폿의 위치가 중심에 있지 않다는 것을 나타내지 않았고, 전자빔은 도가니의 가장자리에 부딪쳤다. (2) 센터에있는 반점의 위치, 찌는 물자는 표시없이 높은 압력 귀착되는 끊긴다.

 

2, 아니 빔, 높은 전압 표시 불안정 부하 문제; (2) 정상 부하, 고전압 전원 문제; (3) 진공실에 오염이있다. 진공 챔버가 오염되면 전자총, 도가니 및 고압 전극을 완전히 청소할 수 있습니다. 그렇지 않으면 부품과 벨 항아리를 완전히 청소할 수 있습니다

 

제거 방법 :

고전압 부품을 사용하여 고전압 부품의 출력 전압을 측정하고 정상인지 점검하십시오. 정상적인 경우 교체 방법 또는 기타 방법을 사용하여 자동 리셋 장치의 주 스위치 회로가 정상인지 확인하십시오. 비정상적인 경우이 부분의 회로 문제임을 나타냅니다. 오작동을 제거하고 고전압 표시기를 정상 상태로 되돌립니다.

 

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