CVD의 필름 증착 속도

CVD의 필름 증착 속도는 전구체의 유형, 기판 온도 및 압력에 따라 일반적으로 초당 수 나노미터에서 시간당 수 마이크로미터 범위로 낮습니다. 증착 속도는 챔버의 전구체 유량, 기판 온도 및 압력을 조정하여 제어할 수 있습니다.

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