바이어스 전원 공급 장치의 중요한 특성

바이어스 전원 공급 장치의 중요한 특성

분당 아크아웃 수(분당 아크아웃 수) · · 대형 아크 검출 감도(mJ/kW 검출 가능한 아크 에너지) · 바이어스의 부하 특성 바이어스 작업 부하는 플라즈마이며, DC 바이어스를 사용하는 경우 , 플라즈마는 저항을 나타냅니다. 펄스 바이어스를 사용하면 플라즈마는 저항+커패시턴스를 나타내며 이는 일련의 저항기와 커패시터로 간주할 수 있으며, 커패시턴스의 특성은 기판 표면의 플라즈마 피복에 의해 발생합니다.

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