PVD 코팅 타겟을 선택할 때주의가 필요합니다.

코팅의 적용을 제외하고 표적을 선택할 때 다음과 같은 문제도 고려해야합니다.

◆ 표적에 의해 증착 된 코팅은 우수한 기계적 강도와 화학적 안정성을 가져야한다.

◆ 표적에 의해 퇴적 된 코팅은 기판과 좋은 결합력을 가져야한다. 그렇지 않으면, 기판에 우수한 결합력을 갖는 코팅 물질을 사용하고, 먼저 기저막을 스퍼터링 및 증착 한 다음 원하는 코팅을 제조해야한다.

◆ 코팅은 반응성 스퍼터링에 의해 형성되기 때문에 코팅 물질은 가스와 반응하여 화합물 필름을 생성하기 쉬워야합니다.

◆ 코팅 성능 요건을 충족한다는 전제하에, 타겟과 기판 사이의 열 팽창 계수의 차이가 작을수록 열 응력의 영향을 감소시킨다.

◆ 표적은 순도, 불순물 함량, 구성 요소 균일 성, 가공 정확도 등의 기술적 요구 사항을 충족해야합니다.