자주 사용되는 CF 플랜지의 모델 및 크기

진공 플랜지를 보장하기 위해 산소가없는 구리 가스켓 (또는 다른 부드러운 금속)을 눌러 밀봉 된 CF 플랜지 안쪽에 볼록한 날카로운 모서리가 있습니다. 그것은 초고 진공 시스템에서 널리 사용되는 완전 금속 실링 방법입니다. CF 플랜지는 일반적으로 ICF 플랜지라고도합니다. CF 뒤에있는 숫자는 카테터의 표준 내경이며, ICF 뒤의 숫자는 플랜지의 외경입니다. 표 1은 일반적으로 사용되는 CF 플랜지의 유형과 치수입니다.

CF 플랜지는 고정형과 느슨한 형으로 구분됩니다. 고정 플랜지는 구조가 통합되어 있습니다. 느슨한 유형의 플랜지는 압출 된 구리 와셔의 나이프 에지 부분과 볼트를 통과하는 고정 부분으로 구성됩니다. 관통 구멍 또는 나사 구멍을 플랜지에서 탭 할 수 있습니다. 관통 구멍이있는 플랜지는 볼트와 너트로 고정해야하며 나사 구멍이있는 플랜지는 볼트로 직접 고정해야합니다. 플랜지의 재질은 주로 SUS304 (또는 SUS304L)이며, SUS304는 가스가 적기 때문에 가공 및 용접이 용이합니다.

표 1 일반적으로 사용되는 CF 플랜지의 모델 및 크기

참고 : n × d의 경우 n은 구멍 수를 의미하고 d는 구멍 (mm)을 의미합니다.

CF 플랜지는 암수 모두이며, 모든 부품에는 무산소 구리 가스켓이 포함되어있어 금속으로 만들어져 고온 (250 ° C 이상)을 견딜 수 있습니다. 단점은 가격이 높고 무산소 구리 가스켓을 반복적으로 사용할 수 없다는 것입니다.

CF 플랜지 설치

CF 플랜지의 장착 요구 사항은 다소 높습니다. 압착 후에 무산소 구리 개스킷이 변형되므로 동등한 힘으로 볼트를 조이는 것이 매우 중요합니다. 볼트가 균등하게 눌리지 않으면 반대쪽 모서리에있는 플랜지가 기울어 져 시스템이 누출됩니다. 볼트의 조임 토크는 대략 M4 볼트 20kgf · cm, M6 볼트 70kgf · cm, M8 볼트 100kgf · cm입니다.

CF 플랜지의주의 사항

CF 플랜지를 사용할 때주의해야 할 몇 가지 점이 있습니다 : 볼트와 너트가 스냅되지 않도록 볼트에 MoS2를 코팅해야합니다. 플랜지는 외주에 정렬되어야합니다. 베이킹 후 볼트를 더 조일 수있는 여유 공간이 있도록 플랜지 표면을 멀리 두어야합니다.

CF 플랜지의 경우, 칼날은 금속 실을 절단하여 진공 밀봉을 보장해야합니다. 장기간 사용하려면 블레이드가 점차 완곡 해집니다. 또한, 블레이드는 경화제에 부딪쳐 부상을 입기 쉽습니다. IPD 금속 씰을 사용하는 것이 해결책 중 하나입니다. IPD 금속 씰은 플랜지의 가장자리에 의존하지 않지만 씰링하기 위해 칼날의 경사에 의존합니다.