PECVD 장비의 일반적인 문제 및 처리 방법 - 발광 실패

빛나지 않는 원인과 치료 방법:

(1) RF 전원 공급 장치에 결함이 있는 경우 RF 소스의 전원 출력이 정상인지 확인하십시오.

(2) 반응가스 흡입량이 적다면 가스유량계가 정상인지 확인하고 정상이면 흡입량을 늘려 시험한다.

(3) 캐비티 플레이트의 청결도가 충분하지 않은 경우 멀티미터를 사용하여 캐비티의 상부 및 하부 플레이트의 접지 저항을 측정하고 정상 값은 수십 메그옴 이상이어야 하며 비정상인 경우 캐비티 플레이트를 청소하십시오.

(4) RF 정합 회로에 결함이 있는 경우 RF 소스 반사 전력이 정상 범위 내에 있는지 확인하십시오. 비정상인 경우 정합 회로의 커패시터 및 인덕턴스가 손상되지 않았는지 확인하십시오.

(5) 진공도가 너무 낮습니다. 캐비티의 진공도가 정상인지 확인하십시오.

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