PECVD 장비 공통 문제-필름 형성 품질 불량

PECVD 장비 공통 문제-필름 형성 품질 불량

(1) 샘플 표면의 청결도가 좋지 않습니다. 샘플 표면이 깨끗한지 확인하십시오.

(2) 처리실의 청정도가 불량하여 처리실을 세정한다.

(3) 시료 온도가 비정상인 경우 온도 제어 시스템이 정상인지 확인하고 온도 측정 열전대를 교정하십시오.

(4) 필름 증착 과정에서 비정상적인 압력, 캐비티 진공 시스템의 누설률을 확인하십시오.

(5) RF 전원이 잘못 설정되어 있으면 RF 전원 공급 장치를 확인하고 설정 전원을 조정하십시오.

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